El Laboratorio Ångström de la Universidad de Uppsala, Suecia, ha establecido una estrecha colaboración con las empresas JTEKT Thermo Systems Co., Ltd. (anteriormente Koyo) y Crystec Technology Trading GmbH en el campo de la tecnología de hornos para semiconductores.
El Laboratorio Ångström es el centro de investigación de materiales de la Universidad de Uppsala. El instituto realiza investigación en el campo de los nuevos materiales y la formación de estudiantes. Dispositivos integrados, células solares, baterías eléctricas y componentes mecánicos resistentes a la fatiga son áreas clave del trabajo del instituto. El instituto mantiene muchas colaboraciones, emplea a alrededor de 350 personas, forma a 1000 estudiantes y cuenta con un presupuesto anual de 200 MSEK.
El corazón del instituto es la sala limpia, finalizada a principios de 1998. La superficie total es de 2000 m2 y está dividida en 30 laboratorios. La mayor parte de la sala limpia es clase 10.000. 150 m2 son clase 100 con conducción de gases desde el techo al suelo, dentro de los cuales hay zonas más pequeñas en clase 10 y clase 1. La estabilidad de la temperatura es de ± 1°C. La humedad se mantiene en 43 ± 3 %.
En esta sala limpia se instalaron 10 hornos verticales del tipo µTF para las siguientes aplicaciones:
Resumen de hornos
Horno 2
OxidaciónHorno 3
Dopado con boroHorno 4
Dopado con fósforoHorno 5
Alta temperaturaHorno 6
Oxidación de puertaHorno 7
Post‑metalHorno 8
Poli‑silicioHorno 9
Si₃N₄Horno 10
LTO / BPSG / TEOS
Todos los hornos están equipados con calentadores LGO de JTEKT Thermo Systems (LGO heaters), que debido a su muy baja masa térmica garantizan una uniformidad de temperatura especialmente buena en el horno.
El control de los hornos se realiza mediante módulos PLC, gestionados de forma central desde un PC con Windows NT.