Centro de Aplicaciones Laboratorio Ångström de la Universidad de Uppsala
La Universidad de Uppsala es socio de
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El Laboratorio Ångström de la Universidad de Uppsala, Suecia, tiene una estrecha colaboración con las empresas Koyo Thermo Systems Co., Ltd. y Crystec Technology Trading GmbH en el área de tecnología de hornos de semiconductores.
El Laboratorio Ångström es el centro de investigación de materiales de la Universidad de Uppsala. El instituto se dedica a la investigación en nuevos materiales y la formación de estudiantes. Los componentes integrados, las células solares, las baterías eléctricas y los componentes mecánicos sin fatiga son áreas de trabajo clave del instituto. El instituto mantiene muchas colaboraciones, emplea a unas 350 personas, forma a 1000 estudiantes y tiene un presupuesto anual de 200 MSEK.
El corazón del instituto es la sala limpia completada a principios de 1998. La superficie total es de 2000 m2 y se divide en 30 laboratorios. La mayor parte de la sala limpia es de Clase 10.000. 150 m2 son de Clase 100 con un flujo de gas del techo al suelo, dentro de los cuales hay áreas más pequeñas de Clase 10 y Clase 1. La estabilidad de la temperatura es de ±1°C. La humedad se mantiene estable en un 43 ± 3 %.
En esta sala limpia se han instalado 10 hornos verticales del tipo µTF para las siguientes aplicaciones:
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#5 |
Temple de alta temperatura
400°C – 1250°C |
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LTO, BPSG
y TEOS 400°C – 900°C |
#10 |
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#4 |
Dotación de fósforo
con fuente sólida 400°C – 1100°C |
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Deposición de nitruro de silicio
400°C – 900°C |
#9 |
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#3 |
Dotación de boro
con fuente sólida 400°C – 1100°C |
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Deposición de polisilicio
400°C – 900°C |
#8 |
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#2 |
Oxidación
Combustión ext., t-LC 400°C – 1100°C |
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Temple post-metal
con gas formador 200°C – 800°C |
#7 |
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#1 |
Oxidación
Combustión ext., t-LC 400°C – 1100°C |
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Oxidación de compuertas
Combustión ext., t-LC 400°C – 1100°C |
#6 |
Todos los hornos están equipados con calentadores LGO de Koyo Thermo Systems, que debido a su baja masa térmica garantizan una excelente uniformidad de temperatura en el horno.
