Crystec Technology Trading GmbH

Le Laboratoire Ångström de l'Université d'Uppsala, en Suède, a établi une étroite collaboration avec les sociétés JTEKT Thermo Systems Co., Ltd. (anciennement Koyo) et Crystec Technology Trading GmbH dans le domaine de la technologie des fours pour semi‑conducteurs.

Le Laboratoire Ångström est le centre de recherche sur les matériaux de l'Université d'Uppsala. L'institut mène des recherches dans le domaine des nouveaux matériaux et assure la formation des étudiants. Les dispositifs intégrés, les cellules solaires, les batteries électriques et les composants mécaniques résistants à la fatigue sont des domaines importants du travail de l'institut. L'institut entretient de nombreuses collaborations, emploie environ 350 personnes, forme 1000 étudiants et dispose d'un budget annuel de 200 MSEK.

Le cœur de l'institut est la salle blanche, achevée début 1998. La surface totale est de 2000 m² et est répartie en 30 laboratoires. La majeure partie de la salle blanche est de classe 10 000. 150 m² sont en classe 100 avec alimentation en gaz du plafond au sol, à l'intérieur desquels des zones plus petites sont conçues en classe 10 et classe 1. La stabilité de la température est de ± 1°C. L'humidité est maintenue à 43 ± 3 %.

Dix fours verticaux du type µTF ont été installés dans cette salle blanche pour les applications suivantes :

Aperçu des fours

Four 1

Oxydation

Oxydation — combustion externe

400°C – 1100°C

Four 2

Oxydation

Oxydation — combustion externe

400°C – 1100°C

Four 3

Dopage bore

Dopage au bore avec source solide

400°C – 1100°C

Four 4

Dopage phosphore

Dopage au phosphore avec source solide

400°C – 1100°C

Four 5

Haute température

Recuit haute température

400°C – 1250°C

Four 6

Gate Oxidation

Oxydation de grille — combustion externe

400°C – 1100°C

Four 7

Post‑métal

Recuit post‑métal — forming gas

200°C – 800°C

Four 8

Poly‑silicium

Dépôt de poly‑silicium

400°C – 900°C

Four 9

Si₃N₄

Dépôt de nitrure de silicium

400°C – 900°C

Four 10

LTO / BPSG / TEOS

LTO, BPSG & TEOS

400°C – 900°C