En la industria de semiconductores es necesario trabajar en condiciones muy limpias. Por ello la producción se realiza en una sala limpia (cleanroom). Los obleas de silicio se manipulan en cassettes de plástico especiales.
Sin embargo, todavía se necesita personal para la fabricación y, a pesar de la ropa adecuada de sala limpia, introducen partículas en la sala. Para aumentar la limpieza del entorno de producción se introdujo el llamado "mini-environment",
un pequeño cleanroom encapsulado dentro del cleanroom. Las obleas ya no se transportan en cassettes abiertos, sino en recipientes cerrados y limpios que solo se abren dentro del equipo de proceso correspondiente, como un
horno vertical, un
horno horizontal, o un
sistema RTP. Solo se han enumerado algunos ejemplos.
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| Cassette abierto 200 mm |
Contenedor SMIF 200 mm |
Contenedor FOSB 300 mm |
Contenedor FOUP 300 mm |
Para obleas de 200 mm se utilizaban cassettes abiertos o contenedores SMIF. SMIF significa Standard Mechanical InterFace. Las cajas contienen un cassette abierto que se extrae por la parte inferior. Para obleas de silicio de 300 mm se cambió el diseño del contenedor y las llamadas cajas FOUP (Front Opening Unified Pod) son ahora el estado del arte. Estos contenedores se abren por delante y el robot de la máquina extrae las obleas directamente del FOUP. Para fines de transporte está disponible una versión más sencilla llamada FOSB (Front Opening Shipping Box).
Todos estos cassettes, SMIF, FOSB y contenedores FOUP deben mantenerse muy limpios. Por ello se almacenan en almacenadores (stockers) apropiados.
Los stockers FOUP son sistemas que almacenan y gestionan FOUPs. Para garantizar la limpieza del aire en los stockers se instalan filtros HEPA (High-Efficiency Particulate Air). La entrega de los FOUPs puede realizarse por un operario, un AGV (Automatic Guided Vehicle) o por OHT (Overhead Hoist Transport).
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