Almacén de cassettes, SMIF, FOUP

Almacén FOUP
Crystec Technology Trading GmbH

Almacén de Cassettes, SMIF, FOUP

En la industria de semiconductores, es necesario trabajar en condiciones muy limpias. Por lo tanto, la producción se realiza en un cuarto limpio. Las obleas de silicio se manipulan en cassettes de plástico especiales. Sin embargo, se requiere la presencia de personas para la fabricación y, a pesar de la ropa limpia adecuada, introducen partículas en la sala limpia. Para aumentar la pureza del entorno de producción, se introdujo un llamado "mini entorno", un pequeño cuarto limpio encapsulado dentro del cuarto limpio. Las obleas semiconductoras ya no se transportan en cassettes abiertos, sino en contenedores cerrados y limpios, que solo se abren dentro de un equipo de proceso correspondiente, como un horno vertical, un horno horizontal, o también un equipo de tratamiento térmico rápido (RTP). Se han mencionado solo algunos ejemplos.
cassette de obleas de silicio abierta
caja SMIF
caja de transporte FOSB
FOUP
Cassette abierta de 200 mm
Contenedor SMIF de 200 mm
Contenedor FOSB de 300 mm
Contenedor FOUP de 300 mm

Para obleas de 200 mm, se utilizaron cassettes abiertas o contenedores SMIF. SMIF significa Interfaz Mecánica Estándar. Las cajas contienen una cassette abierta que se retira desde abajo. Para obleas de 300 mm, se cambió el diseño de los contenedores y los contenedores FOUP (Frontal Opening Unified Pod) son ahora el estándar. Estos contenedores se abren desde el frente y el robot de la instalación retira las obleas directamente del FOUP. Para fines de transporte, hay una versión simple de un contenedor de obleas disponible, llamada FOSB (Frontal Opening Shipping Box).
Todos estos cassettes, SMIF, contenedores FOSB y FOUP deben mantenerse muy limpios. Por lo tanto, se almacenan en almacenes correspondientes.
Almacén FOUP
Almacén FOUP de Daesung Engineering

Los almacenes FOUP son sistemas que almacenan y gestionan FOUPs. Para garantizar la pureza del aire en los almacenes, se utilizan filtros HEPA (Aire Particulado de Alta Eficiencia). La entrega de los FOUP puede realizarse mediante un operador, un AGV (Vehículo Guiado Automáticamente) o un OHT (Transporte Aéreo Automático).

Crystec Technology con gusto lo ayudará en la adquisición de equipos correspondientes.