Crystec Technology Trading GmbH

Dans l'industrie des semi-conducteurs, il est nécessaire de travailler dans des conditions très propres. Par conséquent, la production a lieu en salle blanche (cleanroom). Les plaquettes de silicium sont manipulées dans des cassettes en plastique spéciales. Cependant, des personnes sont toujours nécessaires pour la production et elles introduisent des particules dans la salle blanche malgré des vêtements adaptés. Pour augmenter la propreté de l'environnement de production, un « mini-environment », un petit cleanroom encapsulé à l'intérieur de la salle blanche, a été introduit. Les plaquettes ne sont plus transportées dans des cassettes ouvertes mais dans des conteneurs fermés et propres qui ne sont ouverts qu'à l'intérieur de l'équipement de process correspondant, comme un four vertical, un four horizontal, ou un système RTP. Seuls quelques exemples sont cités.

Pour les plaquettes de 200 mm on utilisait soit des cassettes ouvertes soit des conteneurs SMIF. SMIF signifie Standard Mechanical InterFace. Les boîtes contiennent une cassette ouverte qui est retirée par le bas. Pour les plaquettes de silicium de 300 mm, la conception du conteneur a été modifiée et les boîtes dites FOUP (Front Opening Unified Pod) sont désormais l'état de l'art. Ces conteneurs s'ouvrent par l'avant et le robot de l'équipement prélève les plaquettes directement du FOUP. Pour le transport, une version simple appelée FOSB (Front Opening Shipping Box) est disponible.

Toutes ces cassettes, SMIF, FOSB et conteneurs FOUP doivent être maintenus très propres. Ils sont donc stockés dans des stockeurs appropriés.