Lavadores de gas para equipos de proceso de semiconductores
SemiAn ofrece lavadores de gas desarrollados para limpiar los gases de proceso que se utilizan, entre otros, en la industria de semiconductores y en la fabricación de pantallas de cristal líquido, así como en laboratorios correspondientes. Nuestros depuradores están diseñados para flujos de gas de aprox. 100 - 1.200 slm (6 - 72 m3/h). También suministramos con gusto lavadores de esta clase de tamaño para otras aplicaciones, de forma fiable y rentable.
SSW-200-K
El SSW-200-K está diseñado para un flujo de gas de 200 slm y proporciona una limpieza húmeda eficiente de gases solubles en agua que no requieren descomposición química.
| Características técnicas | Datos del producto |
|---|---|
| Flujo máximo de gas | 200 SLM |
| Entrada de gas | Brida 65A, 1 conexión |
| Salida de gas | Brida 65A, 1 conexión / −25 a −75 mm H2O |
| Consumo eléctrico | Máx. 300 W |
| Tensión / Fase | 208–220 V / 1 fase, 60 Hz |
| Agua | Máx. 4 SLM; 2–3 kgf/cm²; racor Lok 1/4" |
| N2 (opcional) | Máx. 25 SLM; 4–6 kgf/cm²; racor Lok 1/4" |
| Desagüe de aguas residuales | Unión VP40 |
| Dimensiones | 600 (A) × 500 (P) × 1500 (A) mm |
| Peso | 200 kg |
| Certificación | CE |
Lavador húmedo SSW-200-E con neutralización
El SSW-200-E también está diseñado para un flujo de gas de 200 slm y ofrece una limpieza húmeda eficaz de gases solubles en agua que no requieren descomposición química. Además, este modelo cuenta con una unidad integrada de neutralización del agua para las aguas residuales generadas.
| Características técnicas | Datos del producto |
|---|---|
| Flujo máximo de gas | 200 SLM |
| Entrada de gas | Brida 100A, 1 conexión |
| Salida de gas | Brida 65A, 1 conexión / −25 a −75 mm H2O |
| Consumo eléctrico | Máx. 300 W |
| Tensión / Fase | 208–220 V / 1 fase, 60 Hz |
| Agua | Máx. 25 SLM; 4–6 kgf/cm²; racor Lok 1/4" |
| Aire | Máx. 2 SLM; 4–6 kgf/cm²; racor Lok 1/4" |
| Desagüe de aguas residuales | Unión VP40 |
| Dimensiones | 400 (A) × 500 (P) × 1500 (A) mm |
| Peso | 200 kg |
| Certificación | CE |
Lavador húmedo SSW-500
El SSW-500 está diseñado para un flujo de gas de 500 slm y proporciona una limpieza húmeda eficaz de gases solubles en agua que no requieren descomposición química.
Según las necesidades, el modelo está disponible con o sin neutralización integrada de las aguas residuales.
| Características técnicas | Datos del producto |
|---|---|
| Flujo máximo de gas | 500 SLM |
| Entrada de gas | Tubería VP20 PVC, 3 conexiones |
| Salida de gas | Tubería VP100 PVC, 1 conexión / −25 a −75 mm H2O |
| Ventilación de la carcasa | Tubería VP63 PVC (silenciador), 1 conexión / −25 a −75 mm H2O |
| Consumo eléctrico | Máx. 2 kW |
| Tensión / Fase | 208–220 V AC / 1 fase, 60 Hz |
| Agua | Máx. 8 SLM; 2–3 kgf/cm²; racor Lok 1/2" |
| Aire | Máx. 2 SLM; 4–6 kgf/cm²; racor Lok 1/4" |
| Desagüe de aguas residuales | Unión VP25 |
| Dimensiones | 990 (A) × 750 (P) × 1850 (A) mm |
| Peso | 450 kg |
| Certificación | CE |
