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La depuración de gases mediante la escisión térmica de componentes tóxicos y el posterior lavado del gas ha demostrado ser eficaz. En la mayoría de los casos, SemiAn utiliza un calentador eléctrico para estos sistemas quemador-lavador. Las ventajas son la baja propensión a fallos y la alta seguridad operativa del quemador.

Los clorofluorocarbonos (CFC) como el triclorofluorometano CCl₃F, el diclorodifluorometano CCl₂F₂, el clorodifluorometano CHCl₂F, el triclorotrifluoroetano CClF₂-CCl₂F, el diclorotetrafluoroetano CClF₂-CClF₂ (por nombrar algunos), así como los hidrofluorocarbonos (HFC) como el tetrafluoruro de carbono CF₄ o el hexafluoroetano C₂F₆ y otros fluoruros inertes como el hexafluoruro de azufre SF₆ son compuestos muy estables, inertes y por tanto no tóxicos para el ser humano. Sin embargo, se ha demostrado que estas sustancias dañan la capa de ozono de la Tierra y contribuyen de manera significativa al calentamiento global. Por ello, su uso ha sido fuertemente restringido. Para procesos en los que sea necesario el uso de CFC, HFC o SF₆, estas sustancias deben eliminarse de los gases de escape. Debido a la gran estabilidad de los clorofluorocarbonos, un quemador eléctrico que alcance temperaturas de aprox. 1000°C ya no es suficiente. Se emplean quemadores de plasma, que pueden descomponer los CFC gracias a sus altas temperaturas y alta reactividad.
Un plasma es un gas en el que la energía de los átomos individuales es tan alta que los electrones se desprenden del núcleo. Existen iones positivos y electrones libres a la vez, y el plasma es por tanto conductor eléctrico. Se genera una descarga de electrones entre dos electrodos mediante alta tensión que genera un arco. Un flujo de aire a presión produce una llama de plasma que presenta temperaturas internas muy altas, es químicamente muy reactiva y por tanto es adecuada para la escisión incluso de compuestos inertes.
Al descomponer CFC, HFC o SF₆ en presencia de aire u oxígeno se generan, además del dióxido de carbono, fluoruro de hidrógeno HF, flúor F₂, cloruro de hidrógeno HCl y cloro Cl₂. Todos estos compuestos son solubles en agua y pueden eliminarse del gas de escape mediante un lavador aguas abajo, que opcionalmente puede estar equipado con neutralización. El agua se hace circular mediante un tanque de recirculación que puede refrigerarse opcionalmente. La humedad restante tras este paso se elimina en un deshumidificador.