Системы нейтрализации ОГ производства SemiAn. Обзор фирмы и ее продукции
SemiAn Technology представлена в Европе
|
SemiAn Technology - это фирма, предлагающая оборудование для газоочистки по специальным, в основном используемых в полупроводноковой промышленности, процессам. SemiAn разработала очень еффективные газоочистители для удаления ядовитых веществ в LCD-производстве, для других промышленных применений, а также уменьшенных версий для исследовательских целей. Основатели фирмы привнесли разносторонние знания изо всех отраслей производства полупроводников. Следующее преимущество фирмы SemiAn - это ее большая гибкость. Учитываются особые желания заказчика. Целями фирмы являются высококвалифицированные консультации при решении задач газочистки, хорошее сервисное обслуживание, высокая эксплуатационная безопасность и низкое время простоя оборудования, а также выгодные цели при наилучшем качестве. SemiAn может предоставить множество технических данных, доказывающих высокую производительность оборудования.
SemiAn имеет свои представительства в Chungnam-Techno Park и Cheonan-City.
SemiAn Technology может предложить следующие способы газоочищения:
Здесь Вы можете видеть обзор наиболее выгодных моделей. Дальнейшие детали Вы найдете на страницах продукции для влажного сруббера для осаждения растворимых газов, сжигательных устройств, в которых ядовитые газы разлагаются термически (появляющаяся при этом пыль осаждается присоединенным промывателем) и для сухого газоочистителя, в котором ядовитые компоненты абсорбируются на поверхности специальных хемикалий.
Модель | Технология | Поток газа | Комментарий |
SSW 200 | мокрая очистка | 200 slm | для растворимых газов |
SBW 100 / SBW 200 | сжигание и мокрая очистка | 200-400 slm | базовая версия |
SBW 201 / SBW 202 | сжигание и мокрая очистка | 800-1200 slm | 2 или 3 параллельные газовые горелки |
SWB 200 | сжигание и мокрая очистка | 200-400 slm | дополнительно подключенный скруббер |
SSD 50 / SSD 100 / SSD 200 | хемосорбция | 50 - 400 slm | автоматический байпас/ обвод |
SBD 200 | сжигание и абсорбция | 200 slm | специальные применения |
MIDAS I | газовая горелка / мокрая очистка | 200 slm | для FCKW |
MIDAS II | сжигание и охлаждение | 200 slm |
сухая очистка ОГ |