Каталитический нейтрализатор ОГ для полупроводникобой промышленности.
	SemiAn Technology представлена в Европе: Crystec Technology Trading GmbH
	English   deutsch   français   русский SemiAn Korea   Фирма   Скруббер   Горение+влажность   плазма   Катализатор

"Каталитический" газодетоксикатор

Сухой газоочиститель или сухой очиститель использует хемосорбцию/ адсорбцию для очистки ОГ от ядовитых веществ. Используются специальные химикалии с большой площадью поверхности для адсорбции токсичных веществ на их поверхности. Адсорбент содержится в специальном картридже/ патроне. Необходимое время взаимодействия очень коротко и не зависит от изначальной концентрации. После полного использования материала, необходима его замена. Такой способ дегазации может быть использован почти во всех процессах, применяемых в полупроводниковой промышленности, а также для удаления образующихся при этом выхлопов. Ни ток, ни газ, ни вода не являются необходимыми для этого метода. Необходимо, однако, обслуживание. Адсорбент/ катализатор должен регулярно заменяться и использованные химикалии утилизироваться. Окрашенный индикатором адсорбматериал показывает в специальном окне, когда имеющийся в картридже материал использован на 90% и необходима его замена. С помощью использования датчика цветного изображения возможно автоматическое срабатывание тревоги при изменении окраски.

Сухая газоочистка наиболее рекомендованa при низкой концентрации ядовитых веществ, поскольку продолжительность жизни патрона в этом случае высока. Её следует также рекомендовать в системах экстренной очистки, в которых, как правило, в выхлопах не содержатся ядовитые вещества, но возможна их высокая концентрация в экстренных случаях и необходимо предотвращение загрязнения окружающей среды. В этом случае газоочиститель используется время от времени и скруббер или комбисистема сжигания и промывки в этом случае (на основаннии текущих расходов) нецелесообразны.
SemiAn предлагает каталитический газоочиститель, который был разработан для очистки выхлопов из технологических установок, и применяется среди прочего в полупроводниковой промышленности и изготовлении дисплеев на жидких кристаллах. Соответственно, наши газоочистители разработаны на газопоток от ~ 100 - 1.200 slm до. 6 - 72 m³/h . Однако, мы охотно поставляем газоочистители этого класса для других применений, - надежно и выгодно.

SSD 50, SSD 100, SSD 200 Серия сухих газоочистителей на основе химической адсорбции/ хемосорбции ядовитых веществ при комнатной темперетуре. Эти установки могут быть использованы для очистки выхлопов из CVD-установок, ионоимплантаторов или плазменного реактора. Для экстренной обработки выхлопов инсталлирован байпас-катридж. Для защиты газоочистителя от перегрева контролируется температура теплоты реакции. Перепад давления в патроне очистки контролируется также для своевременного распознавания засорения установки. Обслуживание установок осуществляется при помощи сенсорного экрана TFT-монитора. Объем газа: 50 - 400 SLM Объем картриджа: 50l - 200l Потребляемая мощность: 300W Габариты (BxTxH): 700mm x 700mm x 2000mm (SSD200) Вес: 360 kg (SSD200) Опционально могут быть предоставлены системы обнаружения газа, системы обнаружения утечек, централизованная визуализация многих очистителей и разъемов/ подводов к технологическому оборудованию.

Таким способом перечисленные в списке ядовитыe веществa могут быть удалены из выхлопов с помощью шести различных адсорбентов:

aдсорбент	ядовитыe веществa
Zebent 1	BCl3, Cl2, etc.
Zebent 2	BCl3, BF3, Cl2, HBr, HCl, HF, F2, WF6, etc.
Zebent 3	B2H6, SiH2Cl2, SiH4, Si2H6, TEOS, TMB, TMP, etc.
Zebent 4	BCl3, Cl2, NH3, SiH2Cl2, etc.
Zebent 5	AsH3, B2H6, H2S, H2Se, PH3, etc.
Zebent 6	BCl3, BF3, Cl2, GeF4, HBr, HCl, HF, F2, etc.

Crystec Technology Trading GmbH будет рада обсудить с вами дальнейшие детали.
Содержание- страницы	Вас интересует дальнейшая информация? Пожалуйста, свяжитесь с нами!	zum Начало страницы