Каталитический нейтрализатор ОГ для полупроводникобой промышленности
SemiAn Technology представлена в Европе
|
Сухой газоочиститель или сухой очиститель использует хемосорбцию/ адсорбцию для очистки ОГ
от ядовитых веществ. Используются специальные химикалии с большой
площадью поверхности для адсорбции токсичных веществ на их поверхности.
Адсорбент содержится в специальном картридже/ патроне. Необходимое
время взаимодействия очень коротко и не зависит от изначальной концентрации.
После полного использования материала, необходима его замена.
Такой способ дегазации может быть использован почти во всех
процессах, применяемых в полупроводниковой промышленности, а также для удаления образующихся
при этом выхлопов. Ни ток, ни газ, ни вода не являются необходимыми для
этого метода. Необходимо, однако, обслуживание. Адсорбент/ катализатор должен
регулярно заменяться и использованные химикалии
утилизироваться. Окрашенный индикатором адсорбматериал
показывает в специальном окне, когда имеющийся в картридже материал
использован на 90% и необходима его
замена. С помощью использования датчика цветного изображения возможно
автоматическое срабатывание тревоги при изменении окраски.
Сухая газоочистка наиболее рекомендованa
при низкой концентрации ядовитых веществ, поскольку
продолжительность жизни патрона в этом случае высока. Её следует также рекомендовать в
системах экстренной очистки, в которых, как правило,
в выхлопах не содержатся ядовитые вещества, но возможна их высокая концентрация в экстренных случаях
и необходимо предотвращение
загрязнения окружающей среды. В этом случае газоочиститель используется время от времени
и скруббер или комбисистема сжигания и промывки в этом случае (на основаннии
текущих расходов) нецелесообразны.
SemiAn предлагает каталитический газоочиститель, который
был разработан для очистки выхлопов из технологических установок, и применяется среди прочего
в полупроводниковой промышленности и изготовлении
дисплеев на жидких кристаллах. Соответственно,
наши газоочистители разработаны на газопоток от ~ 100 - 1.200 slm до. 6 - 72 m3/h
. Однако, мы охотно поставляем газоочистители этого класса для
других применений, - надежно и выгодно.
SSD 50, SSD 100, SSD 200 | |||
---|---|---|---|
|
Таким способом перечисленные в списке
ядовитыe веществa могут быть удалены из выхлопов с помощью шести различных
адсорбентов:
aдсорбент | ядовитыe веществa |
Zebent 1 | BCl3, Cl2, etc. |
Zebent 2 | BCl3, BF3, Cl2, HBr, HCl, HF, F2, WF6, etc. |
Zebent 3 | B2H6, SiH2Cl2, SiH4, Si2H6, TEOS, TMB, TMP, etc. |
Zebent 4 | BCl3, Cl2, NH3, SiH2Cl2, etc. |
Zebent 5 | AsH3, B2H6, H2S, H2Se, PH3, etc. |
Zebent 6 | BCl3, BF3, Cl2, GeF4, HBr, HCl, HF, F2, etc. |