Catalizador de purificación de gases de escape para la industria de semiconductores

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Purificador de gases de escape "Catalítico"

Los purificadores de gases de escape secos o limpiadores secos utilizan quimisorción o adsorción para liberar los gases de escape de contaminantes. Se utilizan productos químicos especiales con una gran superficie para adsorber toxinas en su superficie. El adsorbente se encuentra en un cartucho o patrón especial. El tiempo de contacto necesario es muy corto y no depende de la concentración de entrada. Cuando todo el material se haya agotado, debe ser reemplazado. Este proceso de descontaminación de gases puede aplicarse a casi todos los procesos utilizados en la industria de semiconductores o los gases de escape resultantes. No requiere electricidad, gases ni agua para la etapa de limpieza. Sin embargo, se requiere mantenimiento. El adsorbente o catalizador debe ser cambiado regularmente y los productos químicos utilizados deben ser eliminados. El material adsorbente teñido con un indicador muestra en una ventana cuando el material en el cartucho ha sido consumido en un 90% y debe ser reemplazado. Mediante el uso de un sensor de color, es posible activar una alarma automática cuando se produce un cambio de color.

Purificador de gases de escape seco mediante quimisorción o adsorción

La limpieza en seco se recomienda sobre todo cuando la concentración de contaminantes es baja, ya que en este caso la vida útil de un cartucho es alta. También es recomendable para sistemas de limpieza de emergencia, donde, por lo general, los gases de escape a tratar no contienen contaminantes, pero en caso de un accidente se esperan altos valores de contaminantes, que deben ser capturados con este limpiador en seco. En este caso, el purificador de gases de escape se utiliza de manera discontinua y los limpiadores húmedos o los sistemas de combinación de quemadores y limpiadores no son tan adecuados debido a los costos operativos continuos.
SemiAn ofrece purificadores de gases de escape catalíticos diseñados para la limpieza de gases de escape de instalaciones de procesos, como las utilizadas en la industria de semiconductores y en la fabricación de displays de cristal líquido. Nuestros purificadores de gases están diseñados para flujos de gas de aproximadamente 100 - 1.200 slm o 6 - 72 m3/h. También suministramos limpiadores de esta clase de tamaño para otras aplicaciones, de manera confiable y rentable.

SSD 50, SSD 100, SSD 200

Serie de purificadores de gases de escape en seco basada en la adsorción química de contaminantes a temperatura ambiente. Estos sistemas se pueden utilizar para limpiar gases de escape de instalaciones CVD, implantadores de iones o grabadores de plasma. Se instala un cartucho de derivación para el tratamiento de emergencia del gas de escape. La temperatura se monitorea para verificar el calor de reacción y para proteger el purificador de gases de escape contra el sobrecalentamiento. La caída de presión sobre el cartucho de limpieza también se controla para poder detectar un atasco en la instalación a tiempo. La operación de los sistemas se realiza a través de una pantalla táctil TFT.

  • Volumen de gas: 50 - 400 SLM
  • Volumen del cartucho: 50l - 200l
  • Consumo de energía: 300W
  • Dimensiones (AnxPxAl): 700mm x 700mm x 2000mm (SSD200)
  • Peso: 360 kg (SSD200)
Como opciones, se ofrecen sistemas de advertencia de gas, sistemas de advertencia de fugas, visualización central de varios limpiadores y interfaces a las instalaciones de procesos.
Adsorbente SSD200

Con este procedimiento, los siguientes contaminantes pueden ser eliminados de los gases de escape mediante seis diferentes adsorbentes:

Adsorbente Contaminante
Zebent 1 BCl3, Cl2, etc.
Zebent 2 BCl3, BF3, Cl2, HBr, HCl, HF, F2, WF6, etc.
Zebent 3 B2H6, SiH2Cl2, SiH4, Si2H6, TEOS, TMB, TMP, etc.
Zebent 4 BCl3, Cl2, NH3, SiH2Cl2, etc.
Zebent 5 AsH3, B2H6, H2S, H2Se, PH3, etc.
Zebent 6 BCl3, BF3, Cl2, GeF4, HBr, HCl, HF, F2, etc.