Каталитический нейтрализатор ОГ для полупроводникобой промышленности

SemiAn Technology представлена в Европе
Crystec Technology Trading GmbH

"Каталитический" газодетоксикатор

Сухой газоочиститель или сухой очиститель использует хемосорбцию/ адсорбцию для очистки ОГ от ядовитых веществ. Используются специальные химикалии с большой площадью поверхности для адсорбции токсичных веществ на их поверхности. Адсорбент содержится в специальном картридже/ патроне. Необходимое время взаимодействия очень коротко и не зависит от изначальной концентрации. После полного использования материала, необходима его замена. Такой способ дегазации может быть использован почти во всех процессах, применяемых в полупроводниковой промышленности, а также для удаления образующихся при этом выхлопов. Ни ток, ни газ, ни вода не являются необходимыми для этого метода. Необходимо, однако, обслуживание. Адсорбент/ катализатор должен регулярно заменяться и использованные химикалии утилизироваться. Окрашенный индикатором адсорбматериал показывает в специальном окне, когда имеющийся в картридже материал использован на 90% и необходима его замена. С помощью использования датчика цветного изображения возможно автоматическое срабатывание тревоги при изменении окраски.

Trockener Abgasreiniger durch Chemisorption bzw. Adsorption

Сухая газоочистка наиболее рекомендованa при низкой концентрации ядовитых веществ, поскольку продолжительность жизни патрона в этом случае высока. Её следует также рекомендовать в системах экстренной очистки, в которых, как правило, в выхлопах не содержатся ядовитые вещества, но возможна их высокая концентрация в экстренных случаях и необходимо предотвращение загрязнения окружающей среды. В этом случае газоочиститель используется время от времени и скруббер или комбисистема сжигания и промывки в этом случае (на основаннии текущих расходов) нецелесообразны.
SemiAn предлагает каталитический газоочиститель, который был разработан для очистки выхлопов из технологических установок, и применяется среди прочего в полупроводниковой промышленности и изготовлении дисплеев на жидких кристаллах. Соответственно, наши газоочистители разработаны на газопоток от ~ 100 - 1.200 slm до. 6 - 72 m3/h . Однако, мы охотно поставляем газоочистители этого класса для других применений, - надежно и выгодно.

SSD 50, SSD 100, SSD 200

Серия сухих газоочистителей на основе химической адсорбции/ хемосорбции ядовитых веществ при комнатной темперетуре. Эти установки могут быть использованы для очистки выхлопов из CVD-установок, ионоимплантаторов или плазменного реактора. Для экстренной обработки выхлопов инсталлирован байпас-катридж. Для защиты газоочистителя от перегрева контролируется температура теплоты реакции. Перепад давления в патроне очистки контролируется также для своевременного распознавания засорения установки. Обслуживание установок осуществляется при помощи сенсорного экрана TFT-монитора.

  • Объем газа: 50 - 400 SLM
  • Объем картриджа: 50l - 200l
  • Потребляемая мощность: 300W
  • Габариты (BxTxH): 700mm x 700mm x 2000mm (SSD200)
  • Вес: 360 kg (SSD200)
Опционально могут быть предоставлены системы обнаружения газа, системы обнаружения утечек, централизованная визуализация многих очистителей и разъемов/ подводов к технологическому оборудованию.
Adsorber SSD200

Таким способом перечисленные в списке ядовитыe веществa могут быть удалены из выхлопов с помощью шести различных адсорбентов:

aдсорбент ядовитыe веществa
Zebent 1 BCl3, Cl2, etc.
Zebent 2 BCl3, BF3, Cl2, HBr, HCl, HF, F2, WF6, etc.
Zebent 3 B2H6, SiH2Cl2, SiH4, Si2H6, TEOS, TMB, TMP, etc.
Zebent 4 BCl3, Cl2, NH3, SiH2Cl2, etc.
Zebent 5 AsH3, B2H6, H2S, H2Se, PH3, etc.
Zebent 6 BCl3, BF3, Cl2, GeF4, HBr, HCl, HF, F2, etc.