Katalytischer Abgasreiniger für die Halbleiterindustrie

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"Katalytischer" Abgasentgifter

Trockene Abgasreiniger oder Trockenreiniger nutzen Chemisorption bzw. Adsorption um Abgase von Schadstoffen zu befreien. Spezielle Chemikalien mit großer Oberfläche werden eingesetzt, um toxische Stoffe an deren Oberfläche zu adsorbieren. Das Adsorbens ist in einer speziellen Kartusche bzw. Patrone enthalten. Die nötige Kontaktzeit ist sehr kurz und hängt nicht von der Eingangskonzentration ab. Wenn das gesamte Material verbraucht ist, muss es ausgetauscht werden. Dieses Abgasentgiftungsverfahren kann für nahezu alle in der Halbleiterindustrie eingesetzten Prozesse bzw. die dabei anfallenden Abgase angewandt werden. Es benötigt weder Strom noch Gase, noch Wasser für den Reinigungsschritt. Nötig ist dagegen Wartung. Das Adsorbens bzw. der Katalysator muss regelmäßig getauscht und die benutzten Chemikalien müssen entsorgt werden. Mit einem Indikator eingefärbtes Adsorbermaterial zeigt in einem Fenster an, wenn das in der Kartusche enthaltene Material zu 90% verbraucht ist und das Material ausgetauscht werden muss. Durch Nutzung eines Farbsensors ist es möglich einen automatischen Alarm bei Farbumschlag auszulösen.

Trockener Abgasreiniger durch Chemisorption bzw. Adsorption

Die trockene Abgasreinigung empfiehlt sich daher vor allem bei einer niedrigen Schadstoffkonzentration, da in diesem Fall die Lebensdauer einer Patronenfüllung hoch ist. Sie ist ebenfalls für Notfall-Reinigungssysteme zu empfehlen, bei denen in der Regel im zu behandelnden Abgas keine Schadstoff enthalten sind, im Falle eines Unfalls aber hohe Schadstoffwerte zu erwarten sind, die dann mit diesem Trocken-Scrubber abgefangen werden sollen. In diesem Fall wird der Abgasreiniger diskontinuierlich genutzt und Nasswäscher oder Kombinationssysteme aus Brenner und Wäscher sind in diesem Fall aufgrund der laufenden Betriebskosten nicht so gut geeignet.
SemiAn bietet katalytische Abgasreiniger an, die für die Reinigung von Abgas aus Prozessanlagen entwickelt wurden, wie sie u.a. in der Halbleiterindustrie und bei der Fertigung von Flüssigkristalldisplays eingesetzt werden. Entsprechend sind unsere Abgasreiniger auf Gasflüsse von ca. 100 - 1.200 slm bzw. 6 - 72 m3/h ausgelegt. Wir liefern aber auch gerne Wäscher dieser Größenklasse für andere Anwendungen, zuverlässig und kostengünstig.

SSD 50, SSD 100, SSD 200

Serie trockener Abgasreiniger auf der Basis chemischer Adsorption bzw. Chemisorption von Schadstoffen bei Raumtemperatur. Diese Anlagen können für die Reinigung von Abgasen aus CVD-Anlagen, Ionenimplantern oder Plasmaätzern genutzt werden. Eine Bypass-Kartusche ist für die Notfallbehandlung des Abgases installiert. Die Temperatur wird zur Überprüfung der Reaktionswärme überwacht und um den Abgasreiniger gegen Überhitzung zu sichern. Der Druckabfall über der Reinigungspatrone wird ebenfalls kontrolliert, um eine Verstopfung der Anlage rechtzeitig erkennen zu können. Die Bedienung der Anlagen erfolgt über einen Touch Screen TFT-Monitor.

  • Gasvolumen: 50 - 400 SLM
  • Kartuschenvolumen: 50l - 200l
  • Leistungsaufnahme: 300W
  • Dimension (BxTxH): 700mm x 700mm x 2000mm (SSD200)
  • Gewicht: 360 kg (SSD200)
Als Optionen stehen Gaswarnsysteme, Leckwarnsysteme, zentrale Visualisierung mehrerer Reiniger und Schnittstellen zu den Prozessanlagen zur Verfügung.
Adsorber SSD200

Nach diesem Verfahren können die in der folgende Liste aufgeführten Schadstoffe durch sechs verschiedene Adsorbens aus Abgasen entfernt werden:

Adsorbens Schadstoff
Zebent 1 BCl3, Cl2, etc.
Zebent 2 BCl3, BF3, Cl2, HBr, HCl, HF, F2, WF6, etc.
Zebent 3 B2H6, SiH2Cl2, SiH4, Si2H6, TEOS, TMB, TMP, etc.
Zebent 4 BCl3, Cl2, NH3, SiH2Cl2, etc.
Zebent 5 AsH3, B2H6, H2S, H2Se, PH3, etc.
Zebent 6 BCl3, BF3, Cl2, GeF4, HBr, HCl, HF, F2, etc.