VF1000: Un horno vertical flexible y económico para investigación y desarrollo.
El VF1000 es un horno vertical compacto y de alta precisión, diseñado específicamente para laboratorios de investigación, líneas piloto y pequeños entornos de producción. A pesar de su diseño que ahorra espacio, ofrece una calidad de proceso comparable a la de sistemas de producción a gran escala y con costes de inversión significativamente menores. Con la capacidad de procesar tamaños de oblea desde 2 hasta 8 pulgadas y hasta 300 mm, y admitir mini-lotes de hasta 25 obleas, el VF1000 cubre un amplio espectro de aplicaciones.
En el corazón del sistema se encuentran los elementos calefactores patentados Light Gauge Over-Bend (LGO) de JTEKT Thermo Systems, que proporcionan una distribución de temperatura excepcionalmente uniforme y reproducible, idéntica al rendimiento de hornos de producción masiva. Gracias al concepto de calefacción modular, se pueden elegir diferentes opciones de calefacción para que el desarrollo de procesos se realice bajo las mismas condiciones que en la producción en serie.
Con su carga manual, el VF1000 ofrece la máxima flexibilidad, lo que lo convierte en la herramienta ideal para series experimentales versátiles, pequeñas producciones mixtas y tipos de sustratos variables. Soporta una amplia gama de procesos térmicos, incluidos oxidación, difusión, LPCVD, oxinitruración y procesos de activación para dispositivos de potencia en silicio y SiC. Instalaciones en instituciones de investigación europeas de renombre como la Universidad de Uppsala y el Fraunhofer IISB subrayan la fiabilidad y el rendimiento de este sistema.
Ventajas
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Bajo coste
El VF1000 ofrece una solución excepcionalmente rentable para el procesado térmico en I+D y producción de pequeñas series. Su diseño compacto y las funciones de automatización intencionalmente reducidas permiten a laboratorios y líneas piloto acceder a calidad de proceso de nivel productivo a una fracción del coste de inversión habitual. -
Tecnología a nivel de producción
Excepto por la transferencia automática de obleas, todas las funciones del VF1000 corresponden a las de los modelos más grandes. El horno utiliza la unidad calefactora LGO propia de JTEKT Thermo Systems, que garantiza la mayor uniformidad de temperatura, rápidas tasas de calentamiento y excelente estabilidad de proceso. Esto hace que el VF1000 sea ideal para desarrollos exigentes y lotes reproducibles. -
Pequeña huella
La huella muy reducida hace que el VF1000 sea especialmente atractivo para instalaciones con espacio limitado. Gracias a su construcción flexible, el horno puede instalarse sin problemas incluso en entornos de laboratorio estrechos. -
Ampliable para muchas aplicaciones
El VF1000 es modular y puede ampliarse con diversas opciones. Esto permite adaptar su rendimiento de forma óptima a aplicaciones específicas, incluyendo procesos LPCVD, oxidación, difusión y muchos otros procedimientos térmicos.
| Características técnicas | Datos del producto |
|---|---|
| Dimensiones externas | W1500 × D1000 × H2130 mm (2-8") W1800 × D1400 × H2300 mm (12") |
| Tamaños de oblea | 2 a 12" |
| Tamaño de lote | hasta 25 obleas |
| Carga | Carga manual |
| Tecnología de calentamiento | Elementos LGO patentados (Light Gauge Over-bend) |
| Temp. máxima de trabajo | 1150 °C (LGO) 1400 °C (calefactor MoSi₂) 1900 °C (calefactor de carbono) |
| Longitud de zona plana | hasta 250 mm |
| Certificación | CE |
| Opciones | Forced Cooling, N₂-Load-Lock |
| Tipo | Aplicaciones | Procesos de ejemplo |
|---|---|---|
| VF-1000 | Procesos en atmósfera | Oxidación húmeda, Templado, Sinterizado, Templado en H2, Curado de poliimida |
| VF-1000LP | Procesos LPCVD (El armario de la bomba puede instalarse detrás del horno) |
Poly-Si, Poly-Si dopado, Nitruro de silicio, HTO, TEOS, LTO |
| Modelos disponibles | |||
|---|---|---|---|
| Modelo | VF-1000 V55X069 | VF-1000 V35X058 | VF-1000 V30X052 |
| Tamaño de oblea | 300 mm | 8" | <6" |
| Dimensiones del horno (mm) | W1800 × D1400 × H2300 | W1500 × D1000 × H2100 | W1500 × D1000 × H2100 |
| Tamaño de lote (oblea) | 13 | 25 | 25 |
| Calefactor | LGO | LGO | LGO |
| Temperatura de operación general (°C) | 300 - 1150 | 300 - 1150 | 300 - 1150 |
| Longitud de zona plana (mm) | 150 | 250 | 160 |
| Zonas de control (zonas) | 3 | 3 | 3 |
Una visión general de nuestros hornos verticales se encuentra aquí.
