Elementos calefactores
JTEKT Thermo Systems utiliza en todos los hornos verticales elementos calefactores especiales con una masa térmica particularmente baja, los llamados calentadores LGO. El rango de temperatura cubierto va desde 140°C hasta 1250°C.
JTEKT desarrolló junto con proveedores de materiales una configuración especial de cuarzo para procesos específicos. Por ello, las líneas de curado de poliimida y de templado en hidrógeno de JTEKT ofrecen propiedades destacadas.
Componentes de cuarzo
En los hornos de tubo para semiconductores la cámara de reacción normalmente está compuesta por piezas de cuarzo como tubo de cuarzo, barco de cuarzo, liner, pedestal, inyector, pozo para termopar, etc. En versiones de alta temperatura se usan a veces tubos o barcos de SiC.
La imagen superior muestra un tubo de proceso de cuarzo con tubo de inyección de gas superior, instalado en un horno vertical con calentadores LGO de baja masa térmica. También están disponibles otras configuraciones de tubo de cuarzo, como doble pared o inyección de gas inferior. La imagen inferior muestra un horno vertical con tubo de cuarzo y barco de SiC durante la inserción.
Todas estas piezas de cuarzo y SiC requieren una limpieza regular y cuidadosa. La frecuencia depende del proceso instalado. Hoy en día, la limpieza por pulverización húmeda es el estado del arte para los equipos de cuarzo.
