Heizelemente
JTEKT Thermo Systems nutzt in allen Vertikalöfen spezielle Heizelemente mit einer besonders niedrigen thermischen Masse, sogenannte LGO Heizer. Der abgedeckte Temperaturbereich reicht von 140°C bis zu 1250°C.
JTEKT entwickelte zusammen mit Materialherstellern eine spezielle Quarzausstattung für spezielle Prozesse. Herausragende Eigenschaften bieten daher insbesondere JTEKT's Polyimidaushärte- und Wasserstofftemperöfen.
Quarzausstattung
In Halbleiterrohröfen besteht die Reaktionskammer normalerweise aus Quarzteilen, wie Quarzrohr, Quarzboot, Quarzliner, Podest, Injektor, Thermoelementrohr, usw. Bei Hochtemperaturversionen werden teilweise auch SiC-Rohr bzw. SiC-Boot eingesetzt.
Das obere Bild zeigt ein Quarzprozessrohr mit oberem Gasinjektionsrohr, installiert in einem Vertikalofen mit LGO Heizelement, das eine besonders niedrige thermische Masse aufweist. Andere Quarzrohranordnungen wie Doppelwandausführung oder unterer Gasinjektion sind ebenfalls verfügbar. Das untere Bild zeigt einen Vertikalofen mit Quarzrohr und SiC-Boot während des Einfahrvorgangs.
All diese Quarz- und SiC-Teile bedürfen einer regelmäßigen und sorgfältigen Reinigung. Die Häufigkeit der Reinigung hängt von dem installierten Prozess ab. Heutzutage ist die nasse Sprühreinigung der Stand der Technik für die Quarzausstattung.
