Vertikalöfen für die Halbleiterindustrie
JTEKT Thermo Systems wird in Europa vertreten durch
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JTEKT Thermo Systems fertigt verschiedene
Versionen von Vertikalöfen mit vollautomatischer Beladung oder manueller Handhabung für
Anwendungen in der Halbleiterfertigung. Kleine Ausführungen für
Pilotlinien und Forschungsinstitute stehen zur Verfügung. Die Anlagen werden oft unterschiedlich bezeichnet: Vertikalofen,
Vertikalöfen, Diffusionsofen, Diffusionsöfen, Rohrofen,
Rohröfen, Dotierofen, Dotieröfen, Oxidationsofen,
Oxidationsöfen, Halbleiterofen, Halbleiteröfen.
Sie sind für viele Prozesse in der Halbleiterhestellung wie
Diffusion,
Oxidation sowie LPCVD Prozesse (
Nitrid,
poly-Silicium,
TEOS) und zur
Dotierung von Solarzellen mit
Phosphoroxychlorid POCl3 verfügbar.
Ein Spezialgebiet von JTEKT Thermo Systems sind Niedrigtemperaturanwendungen wie beispielsweise
Polyimidhärtung,
Kupfer-Tempern,
low-k,
SOG oder
Wasserstofftempern.
Wafergröße | Minibatch Manuelle Beladung |
Minibatch Automatische Beladung |
Voll-Batch Automatische Beladung |
Voll-Batch Integrierter Kassettenspeicher |
100mm-300mm | VF1000 | - | - | - |
150mm-200mm | - | VF3000 | VF5100 | VF5300 |
200mm-300mm | - | VF5700 | - | VF5900 |
JTEKT Thermo Systems nutzt in allen Vertikalöfen spezielle Heizelemente mit einer
besonders niedrigen thermischen Masse, sogenannte LGO Heizer. Der abgedeckte Temperaturbereich reicht
von 140°C bis zu 1250°C. JTEKT entwickelte zusammen mit Materialherstellern eine spezielle Quarzausstattung für spezielle Prozesse. Herausragende Eigenschaften bieten daher insbesondere JTEKT's Polyimidaushärte- und Wasserstofftemperöfen. |
Auf dem linken Bild ist ein Quarzprozessrohr mit oberem Gasinjektionsrohr zu sehen,
installiert in einem Vertikalofen mit LGO Heizelement, das eine besonders niedrige thermische Masse aufweist.
Andere Quarzrohranordnungen wie Doppelwandausführung oder unterer Gasinjektion sind ebenfalls verfügbar. Auf der rechten Seite
ist ein Vertikalofen mit Quarzrohr und SiC-Boot während des Einfahrvorgangs zu sehen. |
VF1000. Ein flexibler und kostengünstiger Vertikalofen für Forschung und Entwicklung.
Diese beliebte Ofen ist ein kleiner Vertikalofen der speziell für Pilotlinien und Forschungslabors
entwickelt wurde und die gleiche Leistungsfähigkeit wie die entsprechenden Produktionsöfen aufweist.
Der Ofen ist auf kleine Chargen von 25 Wafern ausgelegt. Er ist für Wafergrößen von 4" - 300mm verfügbar.
Die manuelle Beladung des Bootes ermöglicht einen niedrigen Preis und erlaubt hohe Flexibilität.
Die kleinen Abmessungen des Ofens helfen dem Kunden ebenso Kosten zu sparen. Automatischer Bootlift und programmierbare
Steuerung werden genutzt um sehr gute Prozessergebnisse zu erzielen. VF1000 Öfen sind für alle Prozesse auslegbar und
weisen die gleichen Prozessleistungen wie die großen Modelle der VF5000-Serie auf. Wie die größeren Versionen,
ist auch der VF1000 mit den von JTEKT Thermo Systems patentierten LGO Heizelementen ausgestattet.
10 dieser Öfen sind im Europäischen Anwendungszentrum in Uppsala installiert. |
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VF2000. Der VF2000 ist ebenso wie der VF1000 ein manuell beladbarer Ofen für Forschung und Entwicklung. Im Unterschied zum VF1000 kann der VF2000 auf Beladekapazitäten zwischen 25 - 100 Wafer ausgelegt werden. Als Optionen ist eine Stickstoffspülkammer verfügbar. Diese Version eignet sich daher besonders für die Herstellung dünner Oxide oder für höhere Kapazitäten. Hauptmerkmale ----------------------------------------
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VF3000. Kompakter Vertikalofen mit zahlreichen Funktionen.
Dieser kompakte Vertikalofen wurde entwickelt ,um die Lücke zwischen dem kleineren, manuell beladbaren VF1000 Ofen und den großen Produktionsanlagen zu schließen. Insbesondere beim Einsatz größerer Wafer werden von den Kunden automatische Beladesysteme auch für Minibatch-Anlagen gewünscht. Der VF3000 ist eine kostenoptimierte Anlage für Pilotproduktionen und Fertigungen mit kleineren Durchsätzen und besitzt eine solche automatische Beladung. Sie kann 26 bzw. 50 Wafer mit einem Durchmesser zwischen 150mm und 200mm prozessieren und für alle gängigen Prozesse eingesetzt werden. Die Kassetten werden vom Bediener direkt auf einen Regalboden gestellt von dem aus die Umhordung in das Quarzboot erfolgt. Ein horizontaler Gasstrom sichert die Sauberkeit der Beladezone. Wie in der anderen Vertikalöfen von JTEKT werden auch im VF3000 patentierte LGO Heizelemente eingesetzt. Hauptmerkmale ----------------------------------------
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VF5100. Vertikalofen für mittlere bis große Produktionseinheiten.
Dieser Typ VF5100 wurde 1990 als erster Vertikalofen von JTEKT mit Roboterumhordung der Wafer eingeführt und wurde über die Jahre immer weiterentwickelt. Dieses beliebte Modell wird mittlerweile von vielen Firmen in der ganzen Welt eingesetzt. Die Automatisierung arbeitet sehr zuverlässig und erfordert wenig Wartungsarbeiten. Bis zu 8 Kassetten können auf ein Karussell geladen werden. Dies kann auch automatisch durch ein AGV (Beladeroboter) geschehen. 150 Wafer können in einem Arbeitsgang prozessiert werden. 5 Wafer können gleichzeitig durch den super-sauberen Transfer-Roboter von der Kassette in das Quarzboot geladen werden. Die Umhordung ist effizient und zuverlässig. Die JTEKT-spezifischen LGO Heizelemente erfreuen sich großer Beliebtheit bei den Kunden. Eine stickstoffgespülte Beladekammer (loadlock) steht als Option zur Verfügung, um die natürliche Oxidation der Wafer zu verhindern. Eine SMIF-Version dieses Ofens ist auch verfügbar.
Hauptmerkmale ----------------------------------------
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VF5300. Vertikalofen für die Massenproduktion von Wafern bis 200mm Durchmesser.
Der VF5300 stellt eine Weiterentwicklung des VF5100 dar und kann durch einen integrierten Stocker insgesamt 20 Kassetten speichern. Optional können damit bis zu 2 Lose vollautomatisch und ohne Bedienereingriff prozessiert werden. Für diesen Ofen stehen alle denkbaren Optionen zur Verfügung, was seine große Verbreitung sowohl in Asien als auch in USA und Europa erklärt. Der Kassettenspeicher besteht aus mehreren über einander montieren Karussells und besticht durch einfachen Aufbau und zuverlässige Arbeitsweise. Die Bedienung ist einfach. Es stehen zwei unabhängige Bootbeladeroboter zur Verfügung und es werden vakuumlose Handhabungsfinger benutzt. Der Durchsatz ist gegenüber dem VF5100 nochmals höher und das System kann direkt an den übergeordneten Firmenrechner angeschlossen werden. Die bewährten LGO Heizer kommen auch in dieser Anlage zum Einsatz. Eine SMIF Version steht zur Verfügung. Hauptmerkmale ----------------------------------------
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VF5700. Rapid Ramping Furnace for 300mm wafers.
Der Vertikalofen VF5700 ist ein Mini-Batch-Ofen für 200mm und 300mm Wafer, der eine neue Generation LGO-Heizelement nutzt. Die neue Version dieser Heizelemente ermöglicht noch höhere Aufheiz- und Abkühlraten und stellt eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit sicher. Die Stärken dieser Anlage liegen in der Prozessierung kleiner Lose und den erzielbaren sehr guten Prozessergebnissen. Ein spezieller Roboter stellt niedrige Partikelwerte und hohen Durchsatz sicher. 4 Kassetten können auf einem Karussell gespeichert werden, was für zwei volle Beladungen ausreichend ist. Der Ofen enthält ein speziell entworfenes Quarzboot für 30 300mm Wafer. Der neue Rechner arbeitet auf Windows NT Basis. Optional sind load lock, Kühlgebläse und Bootrotation erhältlich. Jetzt ist auch eine FOUP-Version verfügbar. In diesem Fall werden die Wafer direkt von einem Roboter aus der geöffneten WaferKassette in das Quarzboot umgehordet. Auf diese Art und Weise können geringe Standfläche, hohe Performance und niedriger Preis miteinander kombiniert werden. Hauptmerkmale ----------------------------------------
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VF5900. Herausragender 300mm Vertikalofen für die Massenproduktion.
Der VF5900, der für die Prozessierung von 300mm Wafern entwickelt wurde, kann bis zu 12 FOUPs Kassetten (Front Opening Unified Pods) laden und bis zu zwei Lose mit je 100 Produktionswafern kontinuierlich bearbeiten. Die FOUPs werden von der Übergabestation in eine Regalstation überführt. Nur die wirklich benötigten Kassetten werden zur Übergabestation für das Quarzboot transferiert. Die Umhordung erfolgt über eine Z-Theta Roboter und vakuumlose Pinzetten. Das Quarzboot ist in einer Leiterstruktur ausgeführt um Sliplines zu vermeiden.Der VF5900 nutzt ein JTEKT (ehemals Koyo Thermo Systems) LGO Heizelement und besitzt ein Gebläsekühlsystem zur schnelleren Abkühlung des Rohres nach Prozessende. Eine Stickstoff-Loadlock ist verfügbar. Das System ist mit einer modernen, Windows-kompatiblen und benutzerfreundlichen Steuerung Typ 1400 ausgerüstet, die den SEMI und HSMS Standards entspricht und SECSII und GEM kompatibel ist. Hauptmerkmale ----------------------------------------
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CVF7000. Ofen-Cluster für thermische Prozesse.
Halbleiter-Chips werden aufgrund der zunehmenden Miniaturisierung immer komplexer. Das Design wird dreidimensional. Gate-Oxide und dielektische Schichten werden immer dünner und natürlich wachsendes Oxid kann daher nicht länger ignoriert werden. Das Cluster-Modul erlaubt die Anordnung verschiedener Ofenmodule um einen zentralen Handler. So ist der Transfer von Wafern von einem Modul in das nächste möglich, ohne die Wafer an Luft zu bringen. Die Bildung von natürlichem Oxid wird so verhindert und der Aufbau komplexer Strukturen wird ermöglicht. Hauptmerkmale ----------------------------------------
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Crystec Technology Trading GmbH, Germany,
www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177
Alle JTEKT Thermo Systems Öfen sind CE markiert.
Bitte folgen Sie diesem Link um Vor- und Nachteile von Vertikal- und Horizontalöfen im Vergleich zu finden!