JTEKT Thermo Systems fertigt verschiedene
Versionen von Vertikalöfen mit vollautomatischer Beladung oder manueller Handhabung für
Anwendungen in der Halbleiterfertigung. Kleine Ausführungen für
Pilotlinien und Forschungsinstitute stehen zur Verfügung.
Ein Spezialgebiet von JTEKT Thermo Systems sind Niedrigtemperaturanwendungen
wie beispielsweise Polyimidhärtung, SOG oder Wasserstofftempern.
Produkte JTEKT Thermo Systems (ehemals Koyo Thermo Systems)
JTEKT Thermo Systems stellt alle Arten von Horizontal- und Vertikalöfen, Clusteranlagen, Heizelementen, RTP-Anlagen, LCD Prozessanlagen, Durchlauföfen und Industrieöfen her.
JTEKT Thermo Systems (ehemals Koyo Thermo Systems) stellt eine Vielzahl von Horizontalöfen mit und ohne Automatisierung her, obwohl deren Bedeutung in der modernen Halbleiterfertigungen immer mehr abnimmt. Heutzutage sind Vertikalöfen Stand der Technik und selbst Forschungslabors setzen immer mehr Vertikalöfen ein. Lediglich im Bereich der Solarzellenherstellung sind Horizontalöfen noch üblich. Kleine Ausführungen von Vertikalöfen für Labors sind erhältlich.
Ein Spezialgebiet von JTEKT Thermo Systems sind Niedrigtemperaturanwendungen wie beispielsweise Polyimidhärtung, SOG oder Wasserstofftempern.
JTEKT Thermo Systems RTP Anlagen (RLA-xxxx) bieten eine einzigartige Lampenanordung mit gekreuzten Lampenfeldern unter und über der Probe. Durch den Einsatz einer Temperaturverteilungshilfe und durch herausragende und unvergleichliche Temperaturgleichmäßigkeiten, werden hohe Prozeßreproduzierbarkeiten und eine Minimierung des Auftretens von Slip-lines erreicht.
JTEKT Thermo Systems produziert für eine Vielzahl von Anwendungen und Prozessen wie Dickfilmtemperung, Ausheizen von Elektroden oder Thermodruckköpfen Durchlauföfen. Weitere Anwendungen sind Temperaturbehandlungen von Dichtungen, Temper- und Trockenprozesse, Lötöfen, Öfen zum Verlauf von Schichten sowie Harzhärtungsöfen.
JTEKT Thermo Systems stellt eine Vielzahl von Industrieöfen u.a. für folgende Prozesse her: Härtung und Einsatzhärtung, Karbonitrierung, Nitridierung, Tempern, Abschrecken, Sintern, Hartlöten. Beladung der Öfen kann automatisch oder manuell von der Seite, von vorne oder von unten erfolgen. Es stehen verschiedene Prozessgase sowie Vakuum zur Verfügung.
JTEKT Thermo Systems produziert mehrere Arten von Öfen für Anwendungen in der keramischen Industrie wie z.B. für Trocknung, Entkohlung, kontinuierliche Einbrennung und Sinterung. JTEKT Thermo Systems hat auf diesem Gebiet viel Erfahrung und ist auf dem Gebiet Entkohlung und kontinuierlichen Einbrennung Marktführer in Japan. Wir können Ihnen auf Anfrage eine lange Kundenliste vorweisen.
Patented LGO heating elements have a thermal mass that is <50% of equivalent industry heating elements. LGO heaters have superior temperature uniformity, offer much faster temperature ramping than standard industry heating elements and offer superior control at low temperatures. Durability and extended lifetime are key features.
JTEKT Thermo Systems produces different kinds of heating elements. The plain type is used in JTEKT Thermo Systems conveyor furnaces. It can be used also individually by the customer for the construction of special furnaces or furnace chambers or heating areas. The half cylinder type of the Moldatherm heating elements can be used by customers to design high temperature heating mantles for tubes. This heating elements can be used for temperatures between 140°C and 1250°C.
JTEKT Thermo Systems und Crystec freuen sich darauf, für sie eine kostengünstige Anlage aufzubauen, die Ihren strengsten Anforderungen entspricht.









