Ofen, Öfen von Koyo Thermo Systems - Produktübersicht

Koyo Thermo Systems wird in Europa vertreten durch
Crystec Technology Trading GmbH

Koyo Thermo Systems Produkte

Koyo Thermo Systems stellt alle Arten von Horizontal- und Vertikalöfen, Clusteranlagen, Heizelementen, RTP-Anlagen, LCD Prozessanlagen, Flüssigphasenepitaxie-Anlagen, Durchlauföfen und Industrieöfen her.

Vertikalöfen

Koyo Thermo Systems fertigt verschiedene Versionen von Vertikalöfen mit vollautomatischer Beladung oder manueller Handhabung für Anwendungen in der Halbleiterfertigung. Kleine Ausführungen für Pilotlinien und Forschungsinstitute stehen zur Verfügung.
Ein Spezialgebiet von Koyo Thermo Systems sind Niedrigtemperaturanwendungen wie beispielsweise Polyimidhärtung, SOG oder Wasserstofftempern.


Vertikalofen

Horizontalöfen

Koyo Thermo Systems stellt eine Vielzahl von Horizontalöfen mit und ohne Automatisierung her, obwohl deren Bedeutung in der modernen Halbleiterfertigungen immer mehr abnimmt. Heutzutage sind Vertikalöfen Stand der Technik und selbst Forschungslabors setzen immer mehr Vertikalöfen ein. Lediglich im Bereich der Solarzellenherstellung sind Horizontalöfen noch üblich. Kleine Ausführungen von Vertikalöfen für Labors sind erhältlich.
Ein Spezialgebiet von Koyo Thermo Systems sind Niedrigtemperaturanwendungen wie beispielsweise Polyimidhärtung, SOG oder Wasserstofftempern.


Horizontalofen

Rapid Thermal Processing

Koyo Thermo Systems RTP Anlagen (RLA-xxxx) bieten eine einzigartige Lampenanordung mit gekreuzten Lampenfeldern unter und über der Probe. Durch den Einsatz einer Temperaturverteilungshilfe und durch herausragende und unvergleichliche Temperaturgleichmäßigkeiten, werden hohe Prozeßreproduzierbarkeiten und eine Minimierung des Auftretens von Slip-lines erreicht.


RTP Anlage

Reinöfen und Laboröfen (Boxöfen)

Eine eigene Abteilung bei Koyo Thermo Systems produziert Öfen für Labors und für Spezialanwendungen. Viele dieser Öfen werden speziell für einen Kunden entworfen. In diesem Bereich der Firma werden auch Box-Öfen hergestellt.


Reinofen CLH

FPD Prozessanlagen

Koyo Thermo Systems ist der führende Hersteller von Wärmebehandlungsprozeß- und temperanlagen für die Herstellung von Flachbildschirmen. Die wichtigsten Prozesse sind Glasplattentemperung, Vorheizen und Tempern von Dichtungen, Tempern von Farbstoffen und Härten von Polyimid.


LCD Ofen

Durchlauföfen

Koyo Thermo Systems produziert für eine Vielzahl von Anwendungen und Prozessen wie Dickfilmtemperung, Ausheizen von Elektroden oder Thermodruckköpfen Durchlauföfen. Weitere Anwendungen sind Temperaturbehandlungen von Dichtungen, Temper- und Trockenprozesse, Lötöfen, Öfen zum Verlauf von Schichten sowie Harzhärtungsöfen.


Durchlaufofen

Industrieöfen

Koyo Thermo Systems stellt eine Vielzahl von Industrieöfen u.a. für folgende Prozesse her: Härtung und Einsatzhärtung, Karbonitrierung, Nitridierung, Tempern, Abschrecken, Sintern, Hartlöten. Beladung der Öfen kann automatisch oder manuell von der Seite, von vorne oder von unten erfolgen. Es stehen verschiedene Prozessgase sowie Vakuum zur Verfügung.


Carbonitrierofen

Öfen für die Keramikindustrie

Koyo Thermo Systems produziert mehrere Arten von Öfen für Anwendungen in der keramischen Industrie wie z.B. für Trocknung, Entkohlung, kontinuierliche Einbrennung und Sinterung. Koyo Thermo Systems hat auf diesem Gebiet viel Erfahrung und ist auf dem Gebiet Entkohlung und kontinuierlichen Einbrennung Marktführer in Japan. Wir können Ihnen auf Anfrage eine lange Kundenliste vorweisen.


Sinterofen

Flüssigphasenepitaxie-Anlagen

Koyo Thermo Systems stellt für die Flüssigphasenepitaxie Anlagen her, die entweder auf speziellen Horizontalöfen oder auf Vertikalöfen basieren. Die Beheizung der Wachstumskammer geschieht durch LGO Heizelemente. Die Kammer kann evakuiert werden und es kann eine Inertgas- oder Wasserstoffatmosphäre eingestellt werden. Speziell gedichtete Durchführungen ermöglichen die Bewegung der Proben bzw. der Halbleiterschmelzen in der Kammer.


Flüssigphasenepitaxie Anlage

Ammoniakspalter

Der Koyo Thermo Systems NH3-Spalter wird für die Formiergasherstellung genutzt. Wasserstoff und Stickstoff werden kostengünstig im Volumenverhältnis 3 : 1 bzw. im Masseverhältnis 14 : 3 erzeugt. Anlagenkapazitäten von 5m3/h bis 60m3/h sind verfügbar. Das so hergestellte Formiergas wird häufig in Durchlauföfen oder Rohröfen für Temperprozesse in reduzierender Atmosphäre, beim Hartlöten, Sintern, für die Oxidentfernung und zur Nitridierung genutzt.


Ammoniakspalter

LGO Heizelemente

Ein rohrförmiges Heizelement wird von Koyo Thermo Systems für den Einsatz in Halbleiteröfen gefertigt. Die patentierten LGO Heizelemente haben eine thermische Masse, die mehr als 50% unter der von vergleichbaren anderen Heizelementen liegt. LGO Heizelemente bieten eine super-gute Temperturgleichmäßigkeit, schnelle Aufheiz- und Abkühlrampen und bessere Temperaturkontrolle als Standardheizelemente. Stabilität und lange Lebensdauer sind Schlüsseleigenschaften.


LGO Heizelement

Moldatherm Heizelemente

Koyo Thermo Systems produzierte verschiedene Arten von Moldatherm-Heizelementen. Der flache Typ findet vor allem in Durchlauföfen Anwendung. Er kann auch individuell für den Bau von kundenspezifischen Spezialöfen und -beheizungen verwendet werden.  Der halbzylinderförmige Heizertyp kann vom Kunden für die Ummantelung von Rohren verwendet werden. Die MoldathermTM Heizelemente können für Temperaturen von 140°C bis 1250°C eingesetzt werden.


Moldatherm


Koyo Thermo Systems und Crystec freuen sich darauf, für sie eine kostengünstige Anlage aufzubauen, die Ihren strengsten Anforderungen entspricht.