Hornos de gabinete, hornos de caja para operación con gas inerte, con calentamiento circulante y filtro HEPA para reducción de partículas

JTEKT Thermo Systems es representada en Europa por
Crystec Technology Trading GmbH

Hornos de gabinete

Un departamento propio dentro de JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) se dedica a la producción de hornos de todo tipo para laboratorios. Estos hornos pueden adaptarse a los requisitos del cliente.

JTEKT Thermo Systems es especialista en la fabricación de hornos limpios de gabinete. Estos hornos están diseñados como hornos de circulación de aire y están equipados parcialmente con filtros HEPA para mantener la cámara del horno libre de partículas.

Los filtros HEPA (High Efficiency Particulate Arrestance) son los sistemas de filtración líderes en la fabricación de dispositivos semiconductores y pantallas planas, así como en otras aplicaciones donde se requiere una reducción o eliminación máxima de partículas. Los filtros HEPA tienen una cama profunda de microfibras de vidrio dispuestas al azar, donde la profundidad total de la cama (espesor del filtro) es grande en comparación con el diámetro de la fibra y el tamaño del poro.

La ruta que el gas debe tomar a través del filtro HEPA es relativamente larga. Cuando las partículas se depositan en la superficie de la fibra, el tamaño del poro disminuye y el filtro se vuelve más efectivo.

JTEKT Thermo Systems utiliza estos filtros en los hornos de gabinete descritos aquí, así como en los hornos de paso para la industria LCD. Para proteger los filtros del sobrecalentamiento en los hornos, se instala un sistema de protección especial. El filtro HEPA mantiene su efectividad en un horno de este tipo durante uno o varios años. Los filtros HEPA no requieren limpieza ni mantenimiento durante su vida útil para mantener su efectividad.

CLH
Para uso en la industria de semiconductores.
  • Versión de alta temperatura de un horno limpio.
  • Disponible para temperaturas de 450°C a 500°C.
  • Intercambiador de calor antes del filtro HEPA.
  • Uniformidad de temperatura mejor que ± 4°C.
  • Versión especial disponible para endurecimiento de poliimida no fotosensible.

Horno limpio, hornos limpios CLH

CLO
Horno limpio para procesamiento en atmósfera limpia.
  • Filtro HEPA integrado.
  • Temperaturas de hasta 350°C
  • Uniformidad de temperatura mejor que ± 5°C.

Horno de gabinete, hornos de gabinete CLO

INH
Esta versión está equipada con múltiples entradas de gas.
  • Temperaturas de hasta 600°C.
  • Uniformidad mejor que ± 8°C.
  • El contenido de oxígeno puede mantenerse por debajo de 20ppm.
  • Control programable. Posibilidad de combinación con combustión de gases de escape.
  • Dimensiones internas de hasta 1000 x 1000 x 1000 mm3

Horno de gas inerte, hornos de gas inerte INH

UTO
Horno de alta temperatura.
  • Temperaturas de hasta 700°C.
  • Distribución mejor que ± 8°C.
  • Calentamiento a 700°C en 90 minutos.
  • Circulación de gases de escape disponible.

Horno de alta temperatura, hornos de alta temperatura UTO

S02-12-F
Horno de carga automática para obleas de 300 mm.
  • Horno limpio, basado en el modelo CLH-21
  • Adecuado para obleas de silicio de 300 mm
  • Para estación de transferencia FOUP
  • Transferencia automática de obleas
  • 50 obleas por lote y por horno

Horno automatizado SO2

Para el control del horno, en Europa se utiliza principalmente un controlador de programa de la compañía Stange, que además del control de temperatura, permite el control del flujo de gas a través de MFCs (Controlador de Flujo de Masa) y la integración de sensores de gas, como por ejemplo para la medición de oxígeno. Opcionalmente, está disponible una conexión de datos a una PC, que además del almacenamiento de datos a largo plazo y el control estadístico del proceso (SPC), también ofrece edición de recetas y visualización del proceso.

JTEKT Thermo Systems y Crystec esperan construir para usted una instalación rentable que cumpla con sus requisitos más estrictos.