JTEKT (anteriormente Koyo) ha desarrollado ahora un tipo de horno para unir las ventajas de ambos tipos de horno y reducir al mismo tiempo los costes: ¡JTEKT ha desarrollado un horno de tubo en línea que funciona de manera continua! Las obleas se empujan de forma escalonada a través del horno sobre portadores de cuarzo con una carga de 100 obleas cada uno. El diseño de los portadores es decisivo para una buena uniformidad de temperatura sobre la oblea y, por tanto, influye fuertemente en el resultado del proceso de dopado con POCl3. Puertas de gas en ambos extremos del tubo separan la zona de proceso del entorno.
Ventajas
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Dos tubos uno al lado del otro permiten una automatización sencilla.
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Al eliminar la estación de carga se consigue una huella mucho menor que con un horno horizontal convencional.
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El rendimiento aumenta considerablemente porque se elimina el tiempo de carga.
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El horno ahorra energía, ya que no son necesarias las fases de calentamiento y enfriamiento.
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Al no instalarse una cinta transportadora, tampoco se producen pérdidas térmicas por la salida de una cinta caliente.
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Se consume menos gas porque no son necesarios los procesos de purga.
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Debido a su construcción más simple, el horno también resulta más económico.
Aunque este horno se desarrolló originalmente para el dopado con fósforo de células solares con POCl3, el sistema también puede emplearse para otros procesos utilizados en la industria de semiconductores, siempre que el tiempo de proceso no sea demasiado largo.
JTEKT Thermo Systems y Crystec estarán encantados de diseñar para usted una instalación rentable que cumpla con sus requisitos más exigentes.