Four diffusion horizontal en ligne
JTEKT Thermo Systems est représentée en Europe par
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Pour les procédés de semi-conducteurs, fours tubulaires verticaux
et fours tubulaires horizontaux sont habituellement utilisé en mode batch.
Les plaquettes sont chargés dans un bateau, le bateau est transporté dans le tube du four, le processus est exécuté,
le bateau est sorti et les plaquettes sont déchargés.
Sinon un four convoyeur, en utilisant des bandes de transport afin de transporter le produit
dans le tunnel de four peut être utilisé. Toutefois, ces fours convoyeurs ne sont pas aussi propres et en utilisant des
gaz comme POCl3 pour le dopage n'est pas possible.
Pour les applications semi-conducteurs, la pointe de la technologie sont des fours tubulaires, de nos jours surtout des fours verticaux.
Pour des applications électroniques ou solaires, fours convoyeur sont utilisés pour réduire les coûts.
Maintenant, JTEKT Thermo Systems (précédemment Koyo Thermo Systems) a développé un four nouveau pour combiner les avantages des deux sortes de fours et pour réduire les coûts en parallèle:
JTEKT a développé un four tubulaires en ligne! Les plaquettes sont transportées par le tube dans des voitures de quartz et
avec une charge de 100 plaquettes de chacun. Le design des voitures est essentielle afin d'obtenir une bonne uniformité de la
température et le résultat processus de dopage POCl3 est donc affecté sérieusement.
Des rideaux de gaz aux deux extrémités du tube séparer l'espace de processus de l'environnement.
Les avantages de ce type de construction sont évidents:
Développé à l'origine pour le dopage de phosphore des cellules solaires en utilisant POCl3 dans un four en-ligne, ce système peut être utilisé aussi pour des autres processus de semi-conducteurs, si le temps de processus n'est pas trop long.
JTEKT Thermo Systems et Crystec sont prêts à étudier pour vous, le système qui répondra à vos exigences en présentant le meilleur rapport qualité / prix.
