Elementos calefactores LGO para hornos de tubo

JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) fabrica elementos calefactores Light Gauge Overbend (LGO), pero también puede suministrar resistencias Heavy Gauge Coil (HGC).

Elementos calefactores Light Gauge Overbend (LGO)
Rendimiento del calefactor LGO para semiconductores
Elementos calefactores Heavy Gauge Coil (HGC)
Calefactor convencional HGC para semiconductores
Comparación de elementos calefactores LGO y HGC

La tabla siguiente ofrece una visión general de los parámetros técnicos clave de los dos tipos de calefactores LGO y HGC.

Tipo Rango de
temperatura
Capacidad
térmica
Peso Estabilidad Disposición del
hilo calefactor
Velocidades
de calentamiento
Velocidades
de enfriamiento
Precisión de
temperatura
Prevención de
overshoot
LGO 120°C-1150°C baja bajo alta Meandro rápida rápida muy alta muy buena
HGC 400°C-1300°C alta alto buena Bobina normal normal alta normal

A continuación se compara el rendimiento de los dos tipos de calefactores en diversas aplicaciones de proceso.

Tipo Curado de poliimida Anneal con hidrógeno Anneal SOG Dopado Oxidación Oxidación a alta temperatura OX LP Nitruro LP Polisilicio LP
LGO excelente excelente excelente bueno bueno - bueno bueno bueno
HGC bueno bueno bueno bueno bueno bueno bueno bueno bueno
Control de temperatura preciso para procesos a baja temperatura