Elemento Calefactor LGO para Hornos de Tubo

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Elemento Calefactor LGO para Hornos de Tubo

JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) produce Elementos Calefactores de Luz Gauge Overbend (LGO), pero también puede suministrar Calentadores de Gran Calibre (HGC).

Elementos Calefactores de Luz (LGO) de Calibre Pequeño

Elementos Calefactores LGO con Baja Masa Térmica y Alta Estabilidad

Los elementos calefactores LGO patentados por JTEKT se caracterizan por una construcción especial. Finos hilos calefactores se incrustan en una masa cerámica, lo que conduce a un tiempo de reacción rápido y ajuste de temperatura. La baja capacidad térmica de los hilos delgados permite un calentamiento y enfriamiento rápido, mientras que la fijación en la cerámica proporciona una alta estabilidad y vida útil. Estos elementos calefactores son ideales para operar a bajas temperaturas desde 120°C y son adecuados hasta 1150°C.

La disposición meandral de los hilos calefactores en la zona de calentamiento evita la formación de un campo magnético en el calentador, que puede interferir con ciertos procesos o dispositivos electrónicos en una disposición de bobina convencional. En comparación con los elementos calefactores convencionales, los elementos LGO requieren menos zonas de calentamiento, lo que conduce a un consumo de energía comparativamente bajo. La excelente uniformidad de temperatura resulta en una zona plana extendida y una distribución radial de temperatura uniforme.

Características de los Elementos Calefactores LGO

  • Uniformidad de temperatura sobresaliente
  • Rápido calentamiento y enfriamiento en comparación con los elementos calefactores estándar
  • Control de temperatura efectivo y preciso en bajas temperaturas (a partir de 120°C)
  • Evita el sobrepico al final de las rampas de calentamiento
  • No hay campo magnético dentro del elemento calefactor
  • Alta durabilidad y vida útil prolongada
  • Hasta un 40% de ahorro de energía por ciclo en comparación con los elementos calefactores estándar


Calentador semiconductor de rendimiento LGO

Elementos Calefactores de Bobina de Gran Calibre (HGC)

Elementos Calefactores HGC con Alta Masa Térmica

Como alternativa a los calentadores LGO, JTEKT Thermo Systems ofrece calentadores convencionales para aplicaciones que requieren temperaturas extremadamente altas en hornos de semiconductores. Estos suelen ser procesos de oxidación. La temperatura máxima de operación es de 1250°C.


Calentador semiconductor convencional HGC

Comparación entre Elementos Calefactores LGO y HGC
LGO HGC LGO HGC
Rango de Temperatura 120°C-1150°C 400°C-1300°C adecuado para curado de poliimida excelente bueno
Capacidad Térmica baja alta adecuado para tratamiento térmico con hidrógeno excelente bueno
Peso bajo alto adecuado para tratamiento térmico de SOG excelente bueno
Estabilidad alta bueno adecuado para dopado bueno bueno
Disposición de Hilo Calefactor Meandral Bobina adecuado para oxidación bueno bueno
Velocidades de Calentamiento rápido normal adecuado para oxidación a alta temperatura - bueno
Velocidades de Enfriamiento rápido normal adecuado para óxidos LP bueno bueno
Precisión de la Temperatura muy alta alta adecuado para nitruros LP bueno bueno
Prevención de Sobrepicos muy bueno normal adecuado para polisilicio LP bueno bueno

Nuestros calentadores LGO tienen una distribución de temperatura radial muy uniforme. Esto proporciona un tratamiento de temperatura uniforme en toda la superficie de la oblea.

Distribución de temperatura radial

Al comparar el calentador LGO de JTEKT Thermo Systems con los calentadores convencionales, se observa que el calentador LGO responde mucho más rápido a las señales de control. Esto permite evitar casi por completo el sobrepico de temperatura al final de las fases de calentamiento. Esto es especialmente cierto para los llamados "procesos de baja temperatura" como el curado de poliimida, el temple de hidrógeno o el SOG.

Comportamiento de sobrepico de temperatura del calentador LGO

También es posible actualizar los elementos calefactores LGO en hornos ya instalados.