Élément chauffant LGO pour fours tubulaires

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Élément chauffant LGO pour fours tubulaires

JTEKT Thermo Systems (anciennement Koyo Thermo Systems) produit des éléments chauffants Light Gauge Overbend (LGO), mais peut également fournir des chauffages à Gros Coil (HGC).

Éléments chauffants Light Gauge Overbend (LGO)

Éléments chauffants LGO avec faible masse thermique et grande stabilité

Les éléments chauffants LGO brevetés de JTEKT présentent une construction spéciale. Des fils chauffants fins sont coulés dans une masse céramique, ce qui permet une réponse rapide et un ajustement de la température. La faible capacité thermique des fils fins permet un chauffage et un refroidissement rapides, tandis que la fixation dans la céramique assure une grande stabilité et durabilité. Ces éléments chauffants conviennent particulièrement au fonctionnement à basse température, à partir de 120°C, et jusqu'à 1150°C.

L'arrangement sinueux des fils chauffants dans la zone de chauffage empêche la formation d'un champ magnétique dans le chauffage, ce qui peut se produire avec un arrangement typique en bobine et peut perturber certains processus ou autres dispositifs électroniques. Par rapport aux éléments chauffants conventionnels, les éléments chauffants LGO nécessitent moins de zones de chauffage, ce qui se traduit par une consommation électrique comparativement plus faible. L'uniformité exceptionnelle de la température résulte en une zone plate étendue et une distribution radiale uniforme de la température.

Caractéristiques des éléments chauffants LGO

  • Uniformité exceptionnelle de la température
  • Chauffage et refroidissement rapides par rapport aux éléments chauffants standard
  • Contrôle de température efficace et précis à basse température (à partir de 120°C)
  • Éviter les dépassements à la fin des rampes de chauffage
  • Aucun champ magnétique à l'intérieur de l'élément chauffant
  • Longévité élevée et durée de vie prolongée
  • Économies d'énergie allant jusqu'à 40% par cycle par rapport aux éléments chauffants standard


Chauffage semi-conducteur LGO performant

Éléments chauffants Gros Coil (HGC)

Éléments chauffants HGC avec grande masse thermique

Comme alternative aux radiateurs LGO, JTEKT Thermo Systems propose des radiateurs conventionnels pour les applications nécessitant des températures particulièrement élevées. dans les fours à semi-conducteurs. Il s'agit principalement de processus d'oxydation. La température maximale de fonctionnement est de 1250 °C.


Chauffage semi-conducteur conventionnel HGC

Comparaison des éléments chauffants LGO et HGC
LGO HGC LGO HGC
Plage de température 120°C-1150°C 400°C-1300°C Convient pour la polymérisation du polyimide Excellent Bon
Capacité thermique Basse Élevée Convient pour le recuit à l'hydrogène Excellent Bon
Poids Bas Élevé Convient pour le recuit SOG Excellent Bon
Stabilité Élevée Bonne Convient pour le dopage Bonne Bonne
Disposition du fil chauffant Sinueux Bobine Convient pour l'oxydation Bon Bon
Taux de chauffage Rapide Normal Convient pour l'oxydation à haute température - Bon
Taux de refroidissement Rapide Normal Convient pour l'oxyde LP Bon Bon
Précision de la température Très élevée Élevée Convient pour le nitrure LP Bonne Bonne
Prévention du dépassement Très bonne Normal Convient pour le polysilicium LP Bonne Bonne

Nos chauffages LGO présentent une distribution de température radiale très uniforme. Cela assure un traitement thermique uniforme sur toute la surface de la tranche.

Distribution radiale de la température

En comparant le chauffage LGO de JTEKT Thermo Systems avec des éléments chauffants conventionnels, il est évident que le chauffage LGO réagit beaucoup plus rapidement aux commandes de contrôle. Cela peut éliminer presque complètement les dépassements de température à la fin des phases de chauffage. C'est particulièrement vrai pour les "processus à basse température" tels que la polymérisation du polyimide, le durcissement à l'hydrogène ou le SOG :

Comportement de dépassement de température du chauffage LGO

Il est également possible de moderniser les éléments chauffants LGO pour les fours déjà installés.