LGO Heizelement für Rohröfen

JTEKT Thermo Systems (ehemals Koyo Thermo Systems) produziert Light Gauge Overbend (LGO) Heizelemente, kann aber ebenfalls Heavy Gauge Coil (HGC) Heizer liefern.

Light Gauge Overbend (LGO) Heizelemente
LGO performance semiconductor heater
Heavy Gauge Coil (HGC) Heizelemente
HGC conventional semiconductor heater
Vergleich LGO und HGC Heizelemente

Die nachfolgende Tabelle zeigt einen Überblick über zentrale technische Parameter der beiden Heizer-Typen LGO und HGC im Vergleich.

Typ Temperatur-
bereich
Wärmekapazität Gewicht Stabilität Heizdraht-
Anordnung
Aufheizraten Abkühlraten Temperatur-
genauigkeit
Overshoot-
Vermeidung
LGO 120°C-1150°C niedrig niedrig hoch Meander schnell schnell sehr hoch sehr gut
HGC 400°C-1300°C hoch hoch gut Spule normal normal hoch normal

Nachfolgend werden die beiden Heizer-Typen hinsichtlich ihrer Performance in verschiedenen Prozessanwendungen verglichen.

Typ Polyimidcure Wasserstoff-Anneal SOG-Anneal Dotierung Oxidation Hochtemperatur-Oxidation LP Oxide LP Nitride LP Polysilizium
LGO excellent excellent excellent gut gut - gut gut gut
HGC gut gut gut gut gut gut gut gut gut
Präzise Temperaturführung für Niedrigtemperaturprozesse