LGO Heizelement für Rohröfen

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LGO Heizelement für Rohröfen

JTEKT Thermo Systems (ehemals Koyo Thermo Systems) produziert Light Gauge Overbend (LGO) Heizelemente, kann aber ebenfalls Heavy Gauge Coil (HGC) Heizer liefern.

Light Gauge Overbend (LGO) Heizelemente

LGO Heizelemente mit geringer thermischer Masse und hoher Stabilität

Die von JTEKT patentierten LGO Heizelemente zeichnen sich durch eine besondere Konstruktion aus. Dünne Heizdrähte werden in eine Keramikmasse eingegossen, was zu einer schnellen Reaktionszeit und damit Temperaturanpassung führt. Die geringe Wärmekapazität der dünnen Drähte ermöglicht ein rasches Aufheizen und Abkühlen, während die Fixierung in der Keramik eine hohe Stabilität und Lebensdauer gewährleistet. Diese Heizelemente eignen sich besonders für den Betrieb bei niedrigen Temperaturen ab 120°C und sind gleichzeitig bis zu 1150°C geeignet.

Die meanderförmige Anordnung der Heizdrähte in der Heizzone verhindert die Bildung eines Magnetfeldes im Heizer, das bei einer gewöhnlichen spulenförmigen Anordnung auftreten und damit bestimmte Prozesse oder andere elektronische Geräte stören kann. Im Vergleich zu konventionellen Heizelementen benötigen LGO-Heizelemente weniger Heizzonen, was zu einem vergleichsweise niedrigen Stromverbrauch führt. Die herausragende Temperaturgleichmäßigkeit resultiert in einer verlängerten Flatzone und einer gleichmäßigen radialen Temperaturverteilung.

Eigenschaften der LGO Heizelemente

  • Überragende Temperaturgleichmäßigkeit
  • Schnelles Heizen und Kühlen im Vergleich zu Standardheizelementen
  • Effektive und genaue Temperatursteuerung bei niedrigen Temperaturen (ab 120°C)
  • Vermeidung von Überschwingen am Ende von Aufheizrampen
  • Kein Magnetfeld innerhalb des Heizelementes
  • Hohe Haltbarkeit und verlängerte Lebensdauer
  • Bis zu 40% Stromersparnis pro Durchlauf im Vergleich zu Standardheizelementen


LGO performance semiconductor heater

Heavy Gauge Coil (HGC) Heizelemente

HGC Heizelemente mit hoher thermischer Masse

Als Alternative zu den LGO Heizern bietet JTEKT Thermo Systems konventionelle Heizer für Anwendungen, die besonders hohe Temperaturen in Halbleiteröfen erfordern. Dies sind meist Oxidationsprozesse. Die maximale Betriebstemperatur beträgt 1250°C.


HGC conventional semiconductor heater

Vergleich LGO und HGC Heizelemente
LGO HGC LGO HGC
Temperaturbereich 120°C-1150°C 400°C-1300°C geeignet für Polyimidcure excellent gut
Wärmekapazität niedrig hoch geeignet für Wasserstoff-Anneal excellent gut
Gewicht niedrig hoch geeignet für SOG-Anneal excellent gut
Stabilität hoch gut geeignet für  Dotierung gut gut
Heizdraht-Anordnung Meander Spule geeignet für Oxidation gut gut
Aufheizraten schnell normal geeignet für Hochtemperatur-Oxidation - gut
Abkühlraten schnell normal geeignet für LP Oxide gut gut
Temperaturgenauigkeit sehr hoch hoch geeignet für LP Nitride gut gut
Verhinderung von Overshoot sehr gut normal geeignet für LP Polysilizium gut gut

Unsere LGO Heizer weisen eine sehr gleichmäßige radiale Temperaturverteilung auf. Dadurch erfährt der Wafer über seine komplette Fläche eine gleichmäßige Temperaturbehandlung.

radiale Temperaturverteilung

Vergleicht man den LGO Heizer von JTEKT Thermo Systems mit konventionellen Heizelementen, so zeigt sich, daß der LGO Heizer sehr viel schneller auf Steuerbefehle reagiert. Dadurch kann ein Überschießen der Temperatur am Ende von Aufheizphasen fast vollständig vermieden werden. Dies gilt insbesondere für sogenannte "Niedrigtemperaturprozesse" wie Polyimid härten, Wasserstofftempern oder SOG.

Überschwingverhalten LGO Heizer

Es ist auch möglich, LGO Heizelemente für bereits installierte Öfen nachzurüsten.