Horno horizontal, Hornos horizontales, Horno de difusión, Hornos de difusión para la industria de semiconductores
JTEKT Thermo Systems es representado en Europa por
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JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) produce numerosas versiones de hornos horizontales con operación completamente automática y manual. Se dispone de versiones pequeñas para líneas piloto e institutos de investigación.
Las instalaciones a menudo se denominan de manera diferente: horno horizontal,
hornos horizontales, horno de difusión, hornos de difusión, horno de tubo,
hornos de tubo, horno de dopado, hornos de dopado, horno de oxidación,
hornos de oxidación, horno de semiconductores, hornos de semiconductores.
Están disponibles para muchos procesos en la fabricación de semiconductores como
Difusión,
Oxidación así como procesos LPCVD (
Nitruro,
poli-silicio,
TEOS ) y para
Dopado de celdas solares con
Fosforocloruro de POCl3.
Un área especializada de JTEKT Thermo Systems son aplicaciones de baja temperatura como por ejemplo
Curado de poliimida,
Templado de cobre,
baja k,
SOG o
Templado de hidrógeno.
Nuevas alternativas para Institutos de Investigación y Líneas Piloto:
¿Está buscando un horno horizontal solo porque es más barato? ¿Tiene
pequeñas producciones y le gustaría procesar pequeñas cantidades de obleas?
¿Desea un rendimiento superior? ¡Entonces JTEKT Thermo Systems tiene un
horno especialmente desarrollado para usted! ¡Por favor, eche un vistazo al nuevo
Horno VF1000 de JTEKT Thermo Systems!
Este nuevo desarrollo es un pequeño horno vertical diseñado especialmente para líneas piloto y laboratorios de investigación, que tiene el mismo rendimiento que los hornos de producción correspondientes. El horno está diseñado para lotes pequeños de 25 obleas. Está disponible para tamaños de oblea de 3" - 12". La carga manual del barco permite un precio bajo y alta flexibilidad. Las dimensiones compactas del horno también ayudan al cliente a ahorrar costos. Se utilizan un ascensor de barco automático y un control programable para lograr resultados de procesamiento muy buenos. Los hornos VF1000 son adaptables para todos los procesos y tienen el mismo rendimiento de proceso que los modelos más grandes VF5100 y VF5300. Al igual que las versiones más grandes, los hornos VF1000 también están equipados con los elementos calefactores LGO patentados por JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems). El rango de temperatura disponible va desde 140°C hasta 1250°C.
Puede visitar y evaluar tales hornos verticales en Uppsala en el Laboratorio Ångström de la Universidad. La Universidad de Uppsala colabora con nosotros como centro de aplicación para los hornos verticales VF1000. A solicitud, también podemos organizar una visita a la Universidad de Southampton para ver tales hornos alternativos.
¡Siga este enlace para encontrar ventajas y desventajas de hornos verticales y horizontales en comparación!
Principalmente para la dopado de celdas solares con Fosforocloruro POCl3,
JTEKT ahora también ha desarrollado un horno horizontal continuo,
que también se puede usar en la industria de semiconductores y para otros
procesos de semiconductores, siempre que el tiempo de procesamiento no sea demasiado largo.
Las obleas se alimentan gradualmente a través del horno en carros de cuarzo con una carga de 100 obleas cada uno.
Las compuertas de gas en ambos extremos del tubo separan la cámara de proceso del entorno.
Las ventajas de tal horno son evidentes:
Dos tubos uno al lado del otro permiten una automatización fácil.
Al eliminarse la estación de carga, el espacio requerido es considerablemente menor que en el horno horizontal convencional.
Al no haber tiempo de carga, se aumenta considerablemente la producción.
El horno ahorra energía al no tener fases de calentamiento y enfriamiento.
Al no haber una cinta transportadora instalada, no hay pérdidas térmicas debido a la salida de una cinta transportadora caliente.
Se consume menos gas ya que no son necesarios procesos de purga.
Debido a su diseño más simple, el horno también es más económico.
JTEKT Thermo Systems y Crystec están ansiosos por construir un sistema rentable que cumpla con sus requisitos más exigentes.
