Hornos para el templado del vidrio

Hornos horizontales

JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) fabrica numerosas versiones de hornos horizontales con manejo totalmente automático o manual. Hay disponibles versiones pequeñas para líneas piloto e institutos de investigación.

Las instalaciones suelen denominarse de distintas maneras: horno horizontal, horno de difusión, horno de tubo, horno de dopado, horno de oxidación, horno para semiconductores. Están disponibles para muchos procesos en la fabricación de semiconductores como la difusión, la oxidación y procesos LPCVD (nitruro, poli-silicio, TEOS), y para la dopación de células solares con cloruro de fósforo POCl₃.

Una especialidad de JTEKT Thermo Systems son las aplicaciones a baja temperatura, por ejemplo el curado de poliimida, el recocido de cobre, tratamientos low-k, SOG o el recocido en hidrógeno.

Especificación

Categoría	Detalles
Horno	Tamaños de oblea 3"- 8" Longitudes de zona plana 250-1000 mm 3 o 4 tubos de proceso DDC / acoplamiento con ordenador
Construcción	Procesos completamente separados en los tubos mecanismo opcional de elevación del boat suelo especial con marco nivelador panel de gas montado verticalmente, extracción del tubo de proceso por la parte trasera posible
Estación de carga	Flujo de gas laminar horizontal Iluminación Carga tipo cantilever o Soft-Lander
Extracción / refrigeración del tubo de proceso	Extracción totalmente integrada 2 intercambiadores aire/agua por tubo monitorización de la extracción extracción especial durante carga/descarga juntas de bajo consumo energético
Mantenimiento / Acceso	Tubos de proceso independientes en cajones extraíbles Control de presión en la parte inferior del armario de gas para facilitar el acceso Todos los termopares se introducen por delante y están soportados a lo largo de toda su longitud Acceso frontal Dispositivo integrado para ajustar los elementos calefactores
Elementos calefactores	Calentadores LGO para propiedades superiores hasta 1100°C Calentadores HGC para aplicaciones de alta temperatura hasta 1250°C
Equipamiento de cuarzo	Cámara de reacción formada por tubo de cuarzo, boat de cuarzo, opcional liner de cuarzo, inyector, tubo de termopar, etc. En versiones de alta temperatura, en parte también tubo o boat de SiC
Automatización	Elevador de boat opcional Robot cargador opcional

Horno vertical como alternativa para institutos de I+D y líneas piloto

VF1000 Horno vertical

¿Busca un horno horizontal solo porque es más barato? ¿Tiene pequeños volúmenes y le gustaría procesar pequeñas cantidades de obleas? ¿Desea un rendimiento superior? Entonces JTEKT Thermo Systems ha desarrollado un horno exactamente para usted. Por favor, eche un vistazo al horno VF1000.

El pequeño horno vertical fue diseñado especialmente para líneas piloto y laboratorios de investigación y ofrece la misma capacidad que los hornos de producción comparables. El horno está pensado para pequeñas cargas de 25 obleas y está disponible para tamaños de oblea de 3"- 12". La carga manual del boat permite un precio bajo y gran flexibilidad. Las dimensiones compactas ahorran espacio y costes.

Se utiliza un elevador automático del boat y un control programable para lograr excelentes resultados de proceso. Los hornos VF1000 pueden configurarse para todos los procesos y ofrecen un rendimiento de proceso similar a los modelos mayores VF5100 y VF5300. Al igual que las versiones mayores, los VF1000 están equipados con los elementos calefactores patentados LGO. El rango de temperatura disponible va de 140°C a 1250°C.

Puede visitar y evaluar estos hornos verticales en Uppsala en el Laboratorio Ångström de la Universidad de Uppsala. La Universidad de Uppsala colabora con nosotros como centro de aplicaciones para los hornos verticales VF1000. A petición, también podemos organizar una visita a la Universidad de Southampton.

¡Siga este enlace para ver una comparación de las ventajas y desventajas de hornos verticales y horizontales!

Horno horizontal en línea / continuo

Principalmente para la dopación de células solares con cloruro de fósforo POCl₃, JTEKT ha desarrollado también un horno horizontal continuo que puede usarse en el campo de los semiconductores y en otros procesos, siempre que el tiempo de proceso no sea demasiado largo. Las obleas se colocan en carros de cuarzo con una carga de 100 obleas cada uno y se empujan gradualmente a través del horno. Sellos de gas en ambos extremos del tubo separan la cámara de proceso del entorno.

Las ventajas de este tipo de horno son evidentes: Dos tubos uno al lado del otro permiten una fácil automatización. Al eliminar la estación de carga, la huella es considerablemente menor que la de un horno horizontal convencional. Al eliminar el tiempo de carga, el rendimiento aumenta considerablemente.

El horno ahorra energía porque se eliminan las fases de calentamiento y enfriamiento. Al no instalarse una cinta transportadora, no hay pérdidas térmicas por sacar una cinta caliente. Se consume menos gas porque no son necesarios ciclos de purga. Debido a su construcción más sencilla, el horno también es más rentable.