JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) ofrece una versión especial del horno limpio CLH para el curado de poliimida no fotosensible. Se pueden almacenar varios programas (recetas) en el controlador.
El horno CLH es un horno de recirculación de aire. El gas pasa por un filtro HEPA, se calienta mediante un calentador especial de lamas y a continuación se introduce en la cámara del horno desde la parte trasera a través de una chapa perforada. El gas fluye de forma laminar por la cámara y se extrae por la puerta frontal. El gas es aspirado por el ventilador situado en la parte inferior del horno y mezclado con gas fresco del exterior. La mezcla de gas resultante se enfría en un intercambiador de calor y parte del gas se expulsa a través de una trampa fría. El gas residual que permanece en el horno pasa por el filtro HEPA y se vuelve a calentar.
Para obtener buenos resultados en el curado de poliimida, son muy importantes una buena uniformidad de temperatura en la cámara del horno, bajos niveles de oxígeno y pocas partículas. Mediante el procedimiento descrito arriba se pueden alcanzar grados de pureza relativamente altos en la cámara (Clase 100). La uniformidad de temperatura es de ±5°C. El contenido de oxígeno puede reducirse por debajo de 20 ppm y opcionalmente medirse con un sensor de oxígeno. Esto garantiza excelentes resultados de proceso para el curado de poliimidas no fotosensibles.
