Horno puro, horno de armario, horno de caja para operación de baja partícula, con calentamiento circulante

JTEKT Thermo Systems está representada en Europa por
Crystec Technology Trading GmbH

Horno puro para curar poliimida no fotosensible.

Jtekt Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) ofrece una versión especial del horno puro CLH para la curación de poliimida no fotosensible. Se pueden almacenar varios recetas en el controlador.

El horno CLH es un horno de circulación de aire. El gas pasa a través de un filtro HEPA, se calienta mediante un calentador de lamas especial y luego se introduce en la cámara del horno desde atrás a través de una chapa perforada. El gas fluye laminarmente a través de la cámara y se extrae a través de la puerta frontal. El gas es aspirado por el ventilador en la parte inferior del horno y se mezcla con gas fresco del exterior. La mezcla de gas resultante se enfría en un intercambiador de calor y una parte del gas se expulsa a través de un enfriador. El gas residual en el horno pasa a través del filtro HEPA y luego se calienta nuevamente.

Horno puro CLH, estructura

Para obtener buenos resultados en el curado de poliimida, es muy importante tener una buena uniformidad de temperatura en la cámara del horno, bajos niveles de oxígeno y bajas cantidades de partículas. Utilizando el procedimiento descrito anteriormente, se pueden lograr grados de pureza relativamente altos en la cámara (clase 100). La uniformidad de temperatura es de ± 5°C. El contenido de oxígeno se puede reducir a menos de 20 ppm y, opcionalmente, se puede medir con un sensor de oxígeno. Con esto, se garantizan excelentes resultados de proceso para el curado de poliimida no fotosensible.

Se pueden lograr tasas de calentamiento de >7°C/min y tasas de enfriamiento de >4°C/min. La duración total del proceso para un proceso típico de curado es de aproximadamente 3.5 horas. La mayoría de los clientes procesan cuatro cassettes de metal con 25 obleas cada una por ciclo.

En Europa, para el control del horno, se suele utilizar un controlador de programa de la empresa Stange, que además del control de temperatura permite controlar el flujo de gas a través de MFCs (controladores de flujo masivo) y la integración de sensores de gas, por ejemplo, para la medición de oxígeno. Opcionalmente, está disponible una conexión de datos a una PC, que además del almacenamiento de datos a largo plazo y el control estadístico del proceso SPC, también ofrece edición de recetas y visualización del proceso.

Todos los componentes son fácilmente accesibles para fines de mantenimiento y limpieza. Sin embargo, al curar material fotosensible en este tipo de horno, se pueden esperar deposiciones sólidas en las paredes que aumentan significativamente el esfuerzo de mantenimiento. Por lo tanto, recomendamos este horno exclusivamente para material no fotosensible. Por otro lado, para el tratamiento de poliimida fotosensible, recomendamos nuestros hornos verticales especialmente desarrollados y libres de mantenimiento.

Horno puro CLH
Rango de temperatura 70 - 450°C
Dimensiones externas
An x Al x Pr mm
1155 x 1800 x 1720
Distribución de temperatura ± 5°C a 450°C
Dimensiones internas
An x Al x Pr mm
670 x 690 x 500
Tiempo de calentamiento <60 min.
RT - 450°C
Peso 1,000 kg
Pureza del gas Clase 100
Potencia 38.4 kW

Hornos puros CLH
Encuentre más información sobre el proceso de curado de poliimida y sobre otros hornos de caja de Jtekt Thermo Systems en estos enlaces.

Jtekt Thermo Systems y Crystec esperan construir para usted una instalación rentable que cumpla con sus requisitos más estrictos.