JTEKT Thermo Systems (anciennement Koyo Thermo Systems) propose une version spéciale du four propre CLH pour le durcissement du polyimide non photosensible. Plusieurs recettes peuvent être enregistrées dans le contrôleur.
Le four CLH est un four à recirculation d'air. Le gaz traverse un filtre HEPA, est chauffé par un chauffage spécial à lamelles, puis est acheminé dans la chambre du four depuis l'arrière à travers une tôle perforée. Le gaz s'écoule de manière laminaire à travers la chambre et est aspiré par la porte avant. Le gaz est aspiré par le ventilateur situé dans la partie inférieure du four et mélangé à du gaz frais provenant de l'extérieur. Le mélange de gaz résultant est refroidi dans un échangeur thermique et une partie du gaz est évacuée via un piège frigorifique. Le gaz résiduel restant dans le four passe par le filtre HEPA et est réchauffé.
Pour de bons résultats lors du durcissement du polyimide, une bonne homogénéité de température dans la chambre du four, de faibles teneurs en oxygène et un faible nombre de particules sont très importants. En utilisant la procédure décrite ci‑dessus, il est possible d'atteindre des degrés de propreté relativement élevés dans la chambre (Classe 100). L'homogénéité de température est de ±5°C. La teneur en oxygène peut être réduite à moins de 20 ppm et mesurée en option à l'aide d'un capteur d'oxygène. Cela garantit d'excellents résultats de process pour le durcissement des polyimides non photosensibles.
