Reinofen, Schrankofen, Box-Ofen für den partikelarmen Betrieb, mit Umlauferhitzung
JTEKT Thermo Systems wird in Europa vertreten durch
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Jtekt Thermo Systems (ehemals Koyo Thermo Systems) hat für die Härtung von nicht-photosensitivem Polyimid eine besondere Version des Reinofens CLH im Programm. Mehrere Rezepte können in der Steuerung gespeichert werden.
Der CLH Ofen ist ein Umluftofen. Das Gas passiert einen HEPA Filter, wird durch einen speziellen Lamellenheizer erwärmt und wird dann über ein Lochblech von hinten in die Ofenkammer geführt. Das Gas strömt laminar durch die Kammer und wird durch die Vordertür abgesaugt. Das Gas wird von dem im unteren Teil des Ofens befindlichen Ventilator angesaugt und mit Frischgas von außen gemischt. Die entstandene Gasmischung wird in einem Wärmetauscher abgekühlt und ein Teil des Gases über eine Kühlfalle ausgestoßen. Das im Ofen verbleibende Restgas durchläuft den HEPA-Filter und wird anschließend wiederum aufgeheizt.
Für gute Ergebnisse bei der Polyimidhärtung sind eine gute Temperaturgleichmäßigkeit in der Ofenkammer, niedrige Sauerstoffwerte und geringe Partikelzahlen sehr wichtig. Durch Nutzung der oben beschriebenen Prozedur können relativ hohe Reinheitsgrade in der Kammer (Klasse 100) erreicht werden. Die Temperaturgleichmäßigkeit liegt bei ± 5°C. Der Sauerstoffgehalt kann auf unter 20 ppm abgesenkt werden und optional mit einem Sauerstoffsensor gemessen werden. Damit sind ausgezeichnete Prozeßergebnisse für die Härtung nicht-photosensitiver Polyimide garantiert.
Es können Aufheizraten von >7°C / Min. sowie Abkühlraten von > 4°C / Min. erreicht werden. Die gesamte Prozeßdauer für einen typischen Aushärtungsprozeß liegt bei ca. 3.5 h. Die meisten Kunden prozessieren jeweils vier Metallkasetten mit je 25 Wafern pro Durchlauf.
Zur Ofensteuerung wird in Europa meist ein Programmregler der Fa. Stange eingesetzt, der neben der Temperatursteuerung auch eine Gasflußsteuerung über MFCs (Mass Flow Controller) und die Einbindung von Gassensoren, beispielsweise für die Sauerstoffmessung ermöglicht. Optional ist eine Datenanbindung an einen PC verfügbar, die neben der langfristigen Datenspeicherung und statistischer Prozesskontrolle SPC auch Rezeptbearbeitung und Prozessvisualisierung bietet.
Alle Bauteile sind für Wartungs- und Reinigungszwecke gut zugänglich. Bei der Härtung von photosensitivem Material in diesem Ofentyp ist jedoch mit festen Abscheidungen an den Wänden zu rechnen, die den Wartungsaufwand stark erhöhen. Wir empfehlen daher diesen Ofen ausschließlich für nicht-photosensitives Material. Für die Behandlung von photosensitivem Polyimid empfehlen wir dagegen unsere speziell für diese Anwendung entwickelten, wartungsfreien Vertikalöfen.
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Jtekt Thermo Systems und Crystec freuen sich darauf, für sie eine kostengünstige Anlage aufzubauen, die Ihren strengsten Anforderungen entspricht.
