Hornos Verticales

Hornos Verticales LPCVD en Fraunhofer IISB
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Hornos Verticales en el Instituto Fraunhofer IISB en Erlangen

La Sociedad Fraunhofer promueve y realiza investigaciones aplicadas internacionalmente para beneficio inmediato de la economía y para el beneficio de la sociedad. La Federación Fraunhofer de Microelectrónica VµE coordina las actividades de los institutos Fraunhofer que trabajan en las áreas de microelectrónica y microintegración. Su tarea consiste en reconocer tempranamente las nuevas tendencias en aplicaciones microelectrónicas y tenerlas en cuenta en el desarrollo estratégico de los institutos de la federación.

El Instituto Fraunhofer de Sistemas Integrados y Tecnología de Dispositivos desarrolla nuevos equipos y procesos de fabricación de semiconductores y proporciona herramientas de simulación para describir pasos de fabricación microelectrónicos. Para ello, opera dos salas blancas en Erlangen.

Para los procesos de Silicio Nitruro y Polisilicio dopado (Polysilicium), se utilizan hornos verticales del tipo VF1000 de la empresa Koyo Thermo Systems. Las siguientes imágenes muestran los dos hornos LPCVD, uno desde el frente (sala limpia) y otro desde atrás (sala gris). La tercera imagen muestra la estación de bomba de vacío ubicada en el sótano.

Horno Vertical VF1000   Hornos Verticales Nitruro y Polisilicio   Bomba de Vacío, Instalación en el Sótano