La Sociedad Fraunhofer se fundó en 1949 como una asociación sin fines de lucro y se especializa en investigación orientada a aplicaciones. Hoy Fraunhofer emplea a casi 32.000 personas en toda Alemania y gestiona 75 institutos y centros de investigación independientes.
La Sociedad Fraunhofer promueve y realiza investigación orientada a aplicaciones en una red internacional para el beneficio directo de la economía y para el bien de la sociedad. La Alianza Fraunhofer de Microelectrónica coordina las actividades de los institutos Fraunhofer que trabajan en los campos de la microelectrónica y la microintegración. Su tarea es detectar tempranamente nuevas tendencias en las aplicaciones microelectrónicas y tenerlas en cuenta en el desarrollo estratégico de los institutos de la alianza.
El Instituto Fraunhofer para Sistemas Integrados y Tecnología de Componentes (IISB) desarrolla nuevos equipos y procesos de fabricación de semiconductores y proporciona herramientas de simulación para describir los pasos de fabricación microelectrónica. Para ello opera dos salas limpias en Erlangen.
Para los procesos de nitruro de silicio y de polisilicio dopado se utilizan hornos verticales del tipo VF1000 de JTEKT Thermo Systems. Las imágenes siguientes muestran los dos hornos LPCVD de frente (sala blanca) y por detrás (cuarto técnico). La tercera imagen muestra la bancada de bombas de vacío situada en el sótano.
Como representante europeo de JTEKT, Crystec puede ofrecer hornos verticales VF1000 correspondientes, así como soluciones de proceso adecuadas y apoyo en la implementación.
