Vertikalöfen
Vertikalöfen LPCVD bei Fraunhofer IISB
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Die Fraunhofer-Gesellschaft fördert und betreibt international vernetzt anwendungsorientierte Forschung zum unmittelbaren Nutzen für die Wirtschaft und zum Vorteil für die Gesellschaft. Der Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik VµE koordiniert die Aktivitäten der auf den Gebieten Mikroelektronik und Mikrointegration tätigen Fraunhofer-Institute. Seine Aufgabe besteht dabei im frühzeitigen Erkennen neuer Trends bei mikroelektronischen Anwendungen und deren Berücksichtigung bei der strategischen Weiterentwicklung der Verbundinstitute.
Das Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB entwickelt neue Halbleiter-Fertigungsgeräte und -verfahren und stellt Simulationswerkzeuge zur Beschreibung mikroelektronischer Fertigungsschritte bereit. Dafür betreibt es zwei Reinräume in Erlangen.
Für die Prozesse Siliciumnitrid und dotiertes Polysilicium werden Vertikalöfen vom Typ VF1000 der Fa. Koyo Thermo Systems genutzt. Die folgenden Bilder zeigen die beiden LPCVD Öfen von vorne (Reinraum) wie von hinten (Grauraum). Das dritte Bild zeigt den im Keller untergebrachten Vakuumpumpstand.
