Die Fraunhofer-Gesellschaft wurde 1949 als gemeinnütziger Verein gegründet und hat sich auf anwendungsorientierte Forschung spezialisiert. Heute beschäftigt Fraunhofer knapp 32.000 Mitarbeitende in ganz Deutschland und betreibt 75 Institute und selbstständige Forschungseinrichtungen.
Die Fraunhofer-Gesellschaft fördert und betreibt international vernetzt anwendungsorientierte Forschung zum unmittelbaren Nutzen für die Wirtschaft und zum Vorteil für die Gesellschaft. Der Fraunhofer‑Verbund Mikroelektronik koordiniert die Aktivitäten der auf den Gebieten Mikroelektronik und Mikrointegration tätigen Fraunhofer‑Institute. Seine Aufgabe besteht dabei im frühzeitigen Erkennen neuer Trends bei mikroelektronischen Anwendungen und deren Berücksichtigung bei der strategischen Weiterentwicklung der Verbundinstitute.
Das Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB entwickelt neue Halbleiter-Fertigungsgeräte und -verfahren und stellt Simulationswerkzeuge zur Beschreibung mikroelektronischer Fertigungsschritte bereit. Dafür betreibt es zwei Reinräume in Erlangen.
Für die Prozesse Siliciumnitrid und dotiertes Polysilicium werden Vertikalöfen vom Typ VF1000 der Fa. JTEKT Thermo Systems genutzt. Die folgenden Bilder zeigen die beiden LPCVD‑Öfen von vorne (Reinraum) wie von hinten (Grauraum). Das dritte Bild zeigt den im Keller untergebrachten Vakuumpumpstand.
Als europäische Vertretung von JTEKT kann Crystec entsprechende Vertikalöfen des Typs VF1000 sowie passende Prozesslösungen und Unterstützung bei der Implementierung anbieten.
