Humidificateur à gaz avec le contrôle du point de rosée pour l'humidification des gaz de procédé, de gaz inertes ou d'hydrogène

Équipement semi-conducteurs

Humidificateur du gaz de procédé.

Ce dispositif permet de charger en eau un gaz inerte et à en ajuster avec précision la teneur. Le gaz est mélangé dans de l'eau désionisée à l'aide d'un agitateur rotatif. La stabilité dans le temps de l'homogéneïté du mélange garantit de bons résultats dans les procédés d'oxydation. Le gaz, chargé en eau, est acheminé vers le réacteur à travers une ligne chauffée. La teneur en humidité est mesurée avec un hygromètre. Le débit du gaz est contrôlé par un débit-mètre de précision de type (Débit-mètre de masse électronique).
Humidificateur du gaz           Humidificateur Graphic

L'équipement est conçue pour un fonction sous la pression normale (aucune surpression, pas de pression négative). L'équipment a une petite perte de pression due à l'action centrifuge du rotor. Le chauffage du réservoir d'eau peut être fait soit électriquement soit par serpentin de chauffage. La trempe d'un serpentin de chauffage nécessite une unité de contrôle de température extérieure, mais peut également être utilisé pour le refroidissement de l'eau par un refroidisseur, ce qui permet la fixation d'un point de rosée entre 2°C et 80°C.
L'humidificateur est principalement utilisé pour l'humidification des gaz inertes. Pour l'humidification de l'hydrogène, une version ex-protégée est disponible. Dans ce cas, un moteur à air comprimé est utilisé pour le rotor et chauffage ou refroidissement indirect est sélectionné.
Le réservoir peut être faite de plastique ou acier inoxydable. Taille et débit de gaz du système peut être largement adapté à vos besoins.

Condenseur

Pour l'élimination de vapeur d'eau il est possible d'utilisier une équipment de lavage à l'eau. Si le quantité de vapeur est large, vour pouvez installer un condenseur special:

condensateur