Equipos para la industria de semiconductores
Los equipos para la industria de semiconductores —especialmente hornos y sistemas RTP— siguen siendo nuestro negocio principal. Nuestro socio más importante en este campo es JTEKT Thermo Systems, Japón. Hoy en día JTEKT fabrica principalmente hornos verticales para todos los procesos habituales, pero también sigue ofreciendo hornos horizontales y hornos de armario de todo tipo. Entre las especialidades se encuentran instalaciones para procesos de baja temperatura desde 120°C, como el curado de polyimida o el temple de cobre, así como instalaciones de alta temperatura hasta 1800°C para el procesamiento de obleas SiC. También están disponibles versiones para investigación y desarrollo que ofrecen el mismo rendimiento que los equipos de producción, pero son compactas y flexibles.
Podemos ofrecer automatización de procesos, incluidos robots de carga AGV, sistemas OHT (transporte aéreo) y almacenadores de cassettes a través de nuestros socios Castec y Daesung.